[发明专利]减震装置

说明书

技术领域

本发明涉及光刻机技术领域，特别涉及一种减震装置。

背景技术

基板台是TFT（薄膜场效应晶体管）光刻机中的关键组成部分，主要用于承载加工液晶面板的基板。为了降低地面振动的影响，基板台一般安装在减振器支撑的内部框架上。在这种情况下，减振器除了隔离地基振动外，还必须快速衰减基板台的水平向运动反力引起的振动，并补偿基板台运动时重心变化引起的减振器位置波动。随着液晶面板尺寸的不断增加，基板台的尺寸、质量、速度也在不断增加，并且作用在内部框架上的反力也越来越大，从而对减振器的要求也越来越高。

在补偿基板台运动反力方面，美国公开了一种减振器，该减震器使用平板型音圈电机对内部框架施加控制力，但由于平板型音圈电机的输出力较小，随着基板台运动反力的增加，必须增加电机的数量，这样不仅增加了成本，而且还需要增加电机的散热装置。而日本的一种减振器是采用单层气腔对内部框架施加控制力。但是，为了增加水平向控制力，该减震器必须增加气腔的截面积，从而增加了减振器的高度，带来不利影响。在补偿基板台运动时重心变化方面，上述两种减震器均采用垂向单方向气腔来施加控制力。通过向气腔充气可以产生向上的控制力，而从气腔排气则可以利用负载的重力产生向下的控制力。随着基板台质量的增加、速度的加快，减振器补偿所需的控制力也要求越来越快，这种方案存在一定的瓶颈。

发明内容

本发明提供一种减震装置，能够在不增加减震装置高度的情况下，增加所述减震装置的水平向控制力。

为解决上述技术问题，本发明提供一种减震装置包括框体、垂向活塞、水平向活塞以及多个膜片，其中，所述框体的顶部与内部框架连接，所述框体的底部与地基连接，所述垂向活塞设置在所述框体内并通过膜片与所述框体形成第一气腔和第二气腔，所述水平向活塞也设置在所述框体内，并通过所述膜片与框体形成第三气腔和第四气腔。

作为优选，所述第一气腔中活塞的有效作用面积大于所述第二气腔中活塞的有效作用面积。

作为优选，所述框体包括顶板和底座，所述垂向活塞设置在所述底座内并与所述顶板相连，所述水平向活塞设置在所述顶板内并与所述底座相连，所述垂向活塞处于所述水平向活塞的上方。

作为优选，所述框体包括顶板和底座，所述垂向活塞和水平向活塞均设置在所述底座内，所述垂向活塞通过一连接板与所述顶板相连，所述水平向活塞固定在所述连接板上，所述垂向活塞处于所述水平向活塞的下方。

作为优选，所述水平向活塞的数目为1~4个。

作为优选，所述水平向活塞的数目为2个时，所述的2个水平向活塞呈对向布置或相邻呈90度布置。

作为优选，所述水平向活塞的数目为4个时，所述的4个水平向活塞呈十字对向布置。

作为优选，所述第一气腔和第二气腔通过一伺服阀和一调压阀与外界气源相连。

作为优选，所述第三气腔通过一伺服阀和一调压阀与外界气源相连。

作为优选，所述第四气腔通过一伺服阀和一调压阀与外界气源相连。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

1、在垂向结构上，本发明使用第一气腔和第二气腔的双气腔结构，既可以产生向上的作用力，同时也能够产生向下的作用力，从而增加了减振装置垂向控制力的速度；

2、在水平向结构上，相对于现有技术采用的单层气腔结构，本发明采用第三气腔和第四气腔的双层气腔结构，增加了有效截面积，从而能够在不增加减振装置高度的情况下大大增加水平向的控制力。

附图说明

图1为本发明实施例1中减震装置的结构示意图；

图2a~2c分别为本发明实施例1中水平向活塞的分布示意图；

图3为本发明实施例1减震装置的电气示意图；

图4为本发明实施例2中减震装置的结构示意图。

图1~3中：11-框体、111-顶板、112-底座、12-垂向活塞、13-水平向活塞、14-膜片、15-第一气腔、16-第二气腔、17-第三气腔、18-第四气腔、19-连接板、100-伺服阀、101-调压阀。

图4中：21-框体、211-顶板、212-底座、22-垂向活塞、23-水平向活塞、24-膜片、25-第一气腔、26-第二气腔、27-第三气腔、28-第四气腔。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。需说明的是，本发明附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。