[发明专利]立式线缆支撑装置

说明书

技术领域

本发明涉及光刻装置，特别涉及一种立式线缆支撑装置。

背景技术

现有技术中的光刻装置，主要用于集成电路IC或平板显示领域以及其它微型器件的制造。通过光刻装置，具有不同掩模图案的多层掩模在精确对准下依次成像在涂覆有光刻胶的晶片上，例如半导体晶片或LCD板。光刻装置大体上分为两类，一类是步进光刻装置，掩模图案一次曝光成像在晶片的一个曝光区域，随后晶片相对于掩模移动，将下一个曝光区域移动到掩模图案和投影物镜下方，再一次将掩模图案曝光在晶片的另一曝光区域，重复这一过程直到晶片上所有曝光区域都拥有掩模图案的像。另一类是步进扫描光刻装置，与上述的步进光刻装置不同，掩模图案不是一次曝光成像，而是通过投影光场的扫描移动成像。在掩模图案成像过程中，掩模与晶片同时相对于投影系统和投影光束移动。在上述的光刻设备中，需具有相应的装置作为掩模版和硅片的载体，装载有掩模版和装载有硅片的载体产生精确的相互运动来满足光刻需要。上述掩模版的载体被称之为承版台，硅片或基板的载体被称之为承片台。

在步进扫描光刻装置中，工件台的运行需要配备电机驱动系统、气浮导向系统以及传感器检测系统，并需要大量的信号线、功率线、气管和水管以对其供电、供气、冷却和控制。在工件台运动的过程中，这些电缆和管路会跟随工件台作同步往复运动。当立式线缆已经影响工件台的定位精度时，可通过采用主动立式线缆台技术来补偿管线设施对工件台产生的拉力，消除或者大幅减小管线设施对工件台运动的影响，即：通过降低立式线缆台的质量降低立式线缆台对工件台粗动控制的附加力矩，从而降低控制难度。而对于其他方向的立式线缆，如果采用平躺方式将立式线缆与工件台固定，则会增大工件台的垂向空间需求，所以对于垂向空间要求严格的工件台来说，需要将立式线缆采用侧立飞式与工件台进行连接。

请参照图1，现有技术中存在一种常见立式线缆支撑装置，该装置包括线缆台固定端101、线缆导向板102以及线缆台运动端104，其中，所述线缆台固定端101固定在立式线缆103的一端，线缆台运动端104固定在所述立式线缆103的另一端，并与工件台（图中未示出）固定连接，跟随工件台做同步运动，线缆导向板102为线缆台运动端104进行导向。但该装置存在一个问题，该装置中的立式线缆103仅能跟着工件台做小行程运动，一旦工件台的运动行程增大，立式线缆103由于缺乏垂向支撑，立式线缆在垂向的下垂会使得立式线缆103与下方零件存在接触摩擦的可能，增大了立式线缆103磨损的风险。

发明内容

本发明提供一种立式线缆支撑装置，以克服现有技术中立式线缆支撑装置垂向支撑不足，立式线缆容易磨损的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种立式线缆支撑装置，包括：摆杆、滑块以及摇杆，所述摆杆的一端与线缆固定端相连，所述摆杆的另一端与所述滑块相连，所述摇杆分别与所述滑块和线缆运动端相连。

作为优选，所述摆杆与线缆固定端之间通过一铰链或轴承构成转动副；所述摇杆和摆杆之间通过所述滑块形成滑动副；所述摇杆与线缆运动端之间也通过铰链或轴承形成转动副。

作为优选，所述滑块固定在所述摆杆上，所述摆杆通过所述滑块在所述摇杆上滑动。

作为优选，所述滑块固定在所述摇杆上，所述摇杆通过所述滑块在所述摆杆上滑动。

作为优选，所述摆杆与所述线缆固定端固定连接；所述摇杆与所述线缆运动端之间通过铰链或轴承连接，形成转动副。

作为优选，所述摆杆与所述滑块之间通过铰链或轴承连接，形成转动副；所述滑块与所述摇杆之间形成滑动副。

作为优选，所述摆杆与所述滑块形成滑动副，所述滑块与所述摇杆之间通过铰链或轴承连接，形成转动副。

作为优选，所述摆杆与所述线缆固定端之间通过一铰链或轴承构成转动副；所述摇杆与线缆运动端固定连接。

作为优选，所述滑块与所述摆杆之间形成滑动副；所述滑块与所述摇杆之间通过铰链或轴承连接，形成转动副。

作为优选，所述摆杆与所述滑块之间通过铰链或轴承连接，形成转动副；所述滑块与所述摇杆之间形成滑动副。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：本发明提供的立式线缆支撑装置，包括：摆杆、滑块以及摇杆，所述摆杆的一端与线缆固定端相连，所述摆杆的另一端与所述滑块相连，所述摇杆分别与所述滑块和线缆运动端相连。本发明通过摆杆、滑块以及摇杆三个装置，组成立式线缆支撑装置，可以保证线缆与工件台的跟随运动，同时有效解决了立式线缆的垂向支撑问题，避免了立式线缆与底部零件之间的摩擦问题，提高了线缆的使用安全性。

附图说明