[发明专利]沟槽加工工具及沟槽加工方法无效
| 申请号： | 201310025696.9 | 申请日： | 2013-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103213203A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 山田充;曾山正信 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B26D5/02 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本大阪府*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 沟槽 加工 工具 方法 | ||
1.一种沟槽加工工具，其特征在于：
其由棒状的本体、以及形成于本体前端的刀刃前端区域所构成；
刀刃前端区域，由长方形的底面、从底面长边方向的边相对于底面立起成直角的相互平行的左侧面及右侧面、以及沿着底面宽度方向的边而形成于刀刃前端区域的前面侧或后面侧的至少任一方侧的刀刃前端部所构成；
该刀刃前端部，由在底面的端缘朝向斜上方倾斜的第1刀刃面、以及相对于第1刀刃面交叉成锐角的第2刀刃面所形成。
2.如权利要求1所述的沟槽加工工具，其特征在于其中借由该第1刀刃面与第2刀刃面而形成的刀刃前端的角度为30～85度。
3.如权利要求1或2所述的沟槽加工工具，其特征在于其中该第1刀刃面相对于底面的倾斜角度为1～30度。
4.如权利要求1或2所述的沟槽加工工具，其特征在于其中该刀刃前端区域的底面以及刀刃前端部的宽度为30～5000μm，第1刀刃面的长度为5～40μm。
5.如权利要求3所述的沟槽加工工具，其特征在于其中该刀刃前端区域的底面以及刀刃前端部的宽度为30～5000μm，第1刀刃面的长度为5～40μm。
6.一种沟槽加工方法，其特征在于：
使用权利要求1至3中任一项的沟槽加工工具；以及
使该沟槽加工工具的第1刀刃面与加工对象的薄膜表面接触，使该沟槽加工工具沿着薄膜的表面移动。
7.一种沟槽加工方法，其特征在于：
使用权利要求4的沟槽加工工具；以及
使该沟槽加工工具的第1刀刃面与加工对象的薄膜表面接触，使该沟槽加工工具沿着薄膜的表面移动。
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