[发明专利]蓝宝石衬底的制造方法无效

申请号：	201310024481.5	申请日：	2013-01-23
公开（公告）号：	CN103943742A	公开（公告）日：	2014-07-23
发明（设计）人：	陈杰良;王仲培	申请（专利权）人：	鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
主分类号：	H01L33/02	分类号：	H01L33/02;C30B29/20;C30B15/00
代理公司：	暂无信息	代理人：	暂无信息
地址：	518109 广东省深圳市***	国省代码：	广东;44
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摘要：
搜索关键词：	蓝宝石衬底制造方法
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【说明书】：

技术领域

本发明涉及蓝宝石加工方法，特别涉及一种蓝宝石衬底的制造方法。

背景技术

高亮度发光二极管由于具有电光转换效率高、耗电量低、寿命长、耐冲击、发光光谱单色性能好、视觉性能佳以及可在恶劣环境中工作等优点而得到广泛应用。在高亮度发光二极管中，二极管芯片是发光、显示的最重要器件。目前的二极管芯片加工方法是首先在蓝宝石衬底生长氮化镓系的外延结构，而蓝宝石衬底的加工方法包括：生长尺寸大且高质量的单晶蓝宝石晶体；从蓝宝石晶体中掏取出蓝宝石晶棒；对蓝宝石晶棒进行滚圆得到精确的外圆尺寸的蓝宝石晶棒；对蓝宝石晶棒进行切片得到露出特定切面(例如广泛使用的C平面)蓝宝石衬底；研磨蓝宝石衬底进行减薄，并去除切片时造成的切割损伤层及改善平坦度；对蓝宝石衬底进行倒角处理(chamfering)以将边缘修整成圆弧状，改善边缘的机械强度，避免应力集中造成缺陷；对蓝宝石衬底进行抛光，使其表面达到外延片磊晶级的精度；最后对蓝宝石衬底进行清洗和品检。整个过程工序繁多，耗时长，效率低。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种可提高效率的蓝宝石衬底制造方法。

一种蓝宝石衬底制造方法，其包括：

提供一个模具，该模具开设一个薄膜状的凹陷；

将蓝宝石原料置于该凹陷并加热使该蓝宝石原料在毛细作用下布满该凹陷而形成一个薄膜；

将一个具有特定切面的蓝宝石晶种移动至该特定切面接触该薄膜表面而形成固液界面；

拉提该蓝宝石晶种使该薄膜在该特定切面上凝固以形成一个蓝宝石衬底；

对该蓝宝石衬底进行双面粗磨减薄；

对该蓝宝石衬底进行双面细磨减薄；

对该蓝宝石衬底进行双面粗抛光；及

对该蓝宝石衬底进行双面精抛光。

如此，相较于传统的制造方法，可缩短10倍左右的时间。