[发明专利]一种氮化钛纳米多层涂层叶轮及其制备方法

权利要求书

1.一种氮化钛纳米多层涂层叶轮及其制备方法，叶轮基体材料为25钢，其特征在于：涂层为纳米钛和氮化钛，叶轮基体表面为氮化钛高硬度涂层，叶轮基体与表面氮化钛高硬度涂层之间含有一层钛过渡层。

2.根据权利要求1所述一种氮化钛纳米多层涂层叶轮及其制备方法，其特征在于：沉积方式为电弧离子镀沉积200~300nm的钛过渡层，然后沉积厚度为500~600nm的氮化钛，具体步骤如下：

(1) 前处理：将叶轮基体表面抛光，去除表面油污、锈迹等杂质，然后依次放入酒精和丙酮中，超声波清洗各30min，去除叶轮基体表面油污和附着物，电吹风干燥充分后迅速放入镀膜机，抽真空至5.0×10^-3Pa，加热至420℃，保温100~130min；

(2) 离子清洗：通氩气，其压力为1.5Pa，开启偏压电源，电压800V，占空比0.2，辉光放电清洗40min；降低偏压至600V，占空比0.2，开启离子源离子清洗60min，开启钛靶的电弧源，偏压400V，靶电流50A，离子轰击钛靶10min；

(3) 沉积钛过渡层：调整氩气气压0.5~0.6Pa，偏压降至250V，沉积温度250℃，钛靶电流80A，电弧镀钛过渡层10~15min；

(4) 沉积氮化钛层，氩气气压0.5Pa，偏压200V，沉积温度300℃，电弧镀氮化钛层30min；

(5) 后处理：关闭各电源，离子源及气体源，涂层结束。