[发明专利]一种裸芯片老炼用引出装置及老炼方法无效
申请号: | 201310022401.2 | 申请日: | 2013-01-22 |
公开(公告)号: | CN103077913A | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 刘帅洪;朱海峰;田竹兰 | 申请(专利权)人: | 中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 汪人和 |
地址: | 710054 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 老炼用 引出 装置 方法 | ||
1.一种裸芯片老炼用引出装置,其特征在于,包括相匹配的凸点基板和定位基板,凸点基板上设有通过导带(3)相连接的凸点(1)和外接焊盘(2),凸点(1)设置在凸点基板的内部,外接焊盘(2)设置在凸点基板的四周,凸点基板上还设有第一固定孔(4)和第一定位孔(5);
定位基板上设有芯片放置孔(6),以及第二固定孔(7)和第二定位孔(8);
当凸点基板和定位基板扣合后,凸点(1)与芯片放置孔(6)内放置的裸芯片的焊点相接触,第一定位孔(5)与第二定位孔(8)相对准,第一固定孔(4)与第二固定孔(7)相对准。
2.如权利要求1所述的裸芯片老炼用引出装置,其特征在于,凸点(1)根据待老炼的裸芯片的焊点分布而布设,将待老炼的裸芯片的所有的焊点分别通过导带(3)引出至外接焊盘(2)。
3.如权利要求1所述的裸芯片老炼用引出装置,其特征在于,所述的凸点基板为柔性印制板,导带(3)和外接焊盘(2)印制在柔性印制板上,凸点(1)电镀在柔性印制板上。
4.如权利要求1所述的裸芯片老炼用引出装置,其特征在于,所述的凸点(1)与裸芯片的焊点一对一相接触。
5.如权利要求1所述的裸芯片老炼用引出装置,其特征在于,所述的定位基板为环氧树脂基板,第一定位孔(5)与第二定位孔(8)相对准后通过定位螺栓相连接;通过第一定位孔(5)与第二定位孔(8)相对准来定位凸点(1)与裸芯片的焊点准确接触。
6.如权利要求1所述的裸芯片老炼用引出装置,其特征在于,裸芯片的焊点外引至外接焊盘(2)后,凸点基板和定位基板之间的接触电阻控制为:
两个外引线的电阻之和最大值为190~210mΩ,最小值为120~135mΩ,平均值为150~165mΩ;单个外引线的电阻平均值为80~85mΩ。
7.基于权利要求1所述裸芯片老炼用引出装置的老炼方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)将裸芯片放置在定位基板的芯片放置孔内,将当凸点基板和定位基板对准并扣合后,使芯片焊点与凸点一一对应接触;将凸点基板和定位基板固定后,装入老化板中的插座中,在保护性气氛下,对裸芯片进行加电老化;
2)将老化后的裸芯片取出,将凸点基板和定位基板连接至封装芯片测试系统对裸芯片进行测试,加装环境保障装置后,进行三温测试。
8.如权利要求7所述的老炼方法,其特征在于,所述的步骤1)中的保护性气氛为氮气,氮气的体积含量低于0.5%。
9.如权利要求7所述的老炼方法,其特征在于,所述的步骤2)中环境保障装置提供保护气体,避免高温测试时芯片表面高温氧化,低温测试时芯片表面结霜。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所,未经中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310022401.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造