[发明专利]一种制备管状零件内孔涂层的装置

权利要求书

1. 一种制备管状零件内孔涂层的装置，其特征在于：包括夹持夹具（1）、辅助电极（2）及TiCl₄储液罐（3）, 所述夹持夹具（1）固定在真空室（4）的中心位置，所述TiCl₄储液罐（3）通过连接管与真空室（4）相连接，

其中所述夹持夹具（1）由三根支撑杆（11）托起的管状支架（12）构成，所述管状支架（12）管壁上端均布有两个以上的固定孔（13），所述支撑杆（11）和所述管状支架（12）之间通过陶瓷体（14）绝缘连接，所述管状支架（12）与直流脉冲偏压电源（5）的阴极连接，所述辅助电极（2）设置在所述夹持夹具（1）的轴心线上并与直流脉冲偏压电源（5）阳极连接。

2.如权利要求1所述的制备管状零件内孔涂层的装置，其特征在于：所述支撑杆（11）装在设于所述真空室内的底座（41）上，所述底座（41）由脚垫（42）支撑，底座（41）中心开孔安装套件（43），中心辅助电极（2）通过套件（43）与直流脉冲偏压电源（5）阳极固定连接。

3.如权利要求1或2所述的制备管状零件内孔涂层的装置，其特征在于：所述辅助电极（2）包括端头为平锥口形的过渡管（21）和与之固定连接的上送气管（22）。

4.如权利要求3所述的制备管状零件内孔涂层的装置，其特征在于：所述上送气管（22）的管壁端部布设两个以上的导气孔（23）。

5.如权利要求1所述的制备管状零件内孔涂层的装置，其特征在于：所述TiCl₄储液罐（3）包括罐体（31），在所述罐体（31）的口部紧固有上盖（32），在罐体（31）周围和连通罐体（31）与真空室（4）之间的连接管外均匀缠绕有加热带，所述罐体（31）与真空室（4）之间的连接管上设置有两个截止阀（33），所述截止阀（33）与上盖（32）连接。

6.如权利要求5所述的制备管状零件内孔涂层的装置，其特征在于：所述截止阀（33）输出端均设置有压力真空表（34），在所述加热带与罐体（31）之间设置有热电偶。

7. 如权利要求6所述的制备管状零件内孔涂层的装置，其特征在于：所述压力真空表（34）和所述热电偶均连接到恒温加热仪上。

8.如权利要求5或6或7所述的制备管状零件内孔涂层的装置，其特征在于：所述TiCl4储液罐（3）还连接有氢气H2储液罐、三氯化硼BCl3储液罐和氮气N2储液罐，所述TiCl4储液罐与氢气H2储液罐、氮气N2储液罐连接成气路通道，所述TiCl4储液罐与氢气H2储液罐还和三氯化硼BCl3储液罐连接成另一气路通道。

9.如权利要求8所述的制备管状零件内孔涂层的装置，其特征在于：所述TiCl4储液罐上还并联有氩气Ar储液罐，所述氩气Ar储液罐一端连接在氢气H2储液罐和氮气N2储液罐输气管路之间，另一端连接在所述TiCl4储液罐与三氯化硼BCl3储液罐输气管路之间。