[发明专利]太阳能电池及其制造方法

权利要求书

1.一种太阳能电池，依次层叠有第1电极层、光电转换层以及第2电极层，其特征在于，

在从所述光电转换层进行观察时，所述第1电极层是依次层叠有透明导电膜材料层、混合层、及金属材料层的多层膜，并且所述混合层由所述金属材料层的金属材料及所述透明导电膜材料层的透明导电材料构成，所述混合层所含有的所述金属材料的含量向着所述金属材料层的方向逐渐增大。

2.一种太阳能电池，在具有电绝缘性的基板的表面上依次层叠有作为下电极层的第1电极层、光电转换层、及第2电极层，其特征在于，

在从所述光电转换层进行观察时，所述第1电极层是依次层叠有透明导电膜材料层、混合层、及金属材料层的多层膜，并且所述混合层由所述金属材料层的金属材料及所述透明导电膜材料层的透明导电材料构成，所述混合层所含有的所述金属材料的含量向着所述金属材料层的方向逐渐增大。

3.一种太阳能电池，在具有电绝缘性的基板的表面上依次层叠有作为下电极层的第2电极层、光电转换层、及第1电极层，其特征在于，

在从所述光电转换层进行观察时，所述第1电极层是依次层叠有透明导电膜材料层、混合层、及金属材料层的多层膜，并且所述混合层由所述金属材料层的金属材料及所述透明导电膜材料层的透明导电材料构成，所述混合层所含有的所述金属材料的含量向着所述金属材料层的方向逐渐增大。

4.如权利要求1至权利要求3中的任一项所述的太阳能电池，其特征在于，

所述混合层所含有的所述金属材料的含量在透明导电膜材料层的界面上为0，向着所述金属材料层的方向逐渐增大，且在所述金属材料层的界面上仅存在所述金属材料。

5.一种太阳能电池的制造方法，其特征在于，在制造依次层叠有作为下电极层的第1电极层、光电转换层、及第2电极层的太阳能电池时，

在基板的表面上，以向着所述光电转换层的方向依次层叠金属材料层、透明导电膜材料层的方式来形成所述第1电极层，

在所述透明导电膜材料层上，层叠由非晶相构成的所述光电转换层，

之后，介由所述光电转换层向所述透明导电膜材料层传递热量，使所述光电转换层晶化，并且利用热扩散在所述透明导电膜材料层与所述金属材料层的界面上形成混合层，该混合层由所述金属材料层的金属材料及所述透明导电膜材料层的透明导电材料构成，所述金属材料的含量向着所述金属材料层的方向逐渐增大。

6.一种太阳能电池的制造方法，其特征在于，在制造依次层叠有作为下电极层的第1电极层、光电转换层、及第2电极层的太阳能电池时，

在基板的表面上，向着所述光电转换层的方向依次层叠金属材料层、透明导电膜材料层，

利用热扩散在所述透明导电膜材料层与所述金属材料层的界面上形成混合层，该混合层由所述金属材料层的金属材料及所述透明导电膜材料层的透明导电材料构成，所述金属材料的含量向着所述金属材料层的方向逐渐增大，

在所述透明导电膜材料层上层叠有所述光电转换层，

在所述光电转换层上形成有所述第2电极层。

7.一种太阳能电池的制造方法，其特征在于，在制造依次层叠有第1电极层、光电转换层、及第2电极层的太阳能电池时，

在基板的表面上形成第2电极层，

在第2电极层上层叠所述光电转换层，

在所述光电转换层上层叠透明导电膜材料层，

在所述透明导电膜材料层上层叠金属材料层，

之后，向所述金属材料层提供热量，利用热扩散在所述透明导电膜材料层与所述金属材料层的界面上形成混合层，该混合层由所述金属材料层的金属材料及所述透明导电膜材料层的透明导电材料构成，所述金属材料的含量向着所述金属材料层的方向逐渐增大，从而构成具有所述透明导电膜材料层、所述混合层、及所述金属材料层的所述第1电极层。

8.如权利要求5至权利要求7中的任一项所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，

所述热扩散是指进行热处理使得所述金属材料层与所述透明导电膜材料层的界面变为300℃以上。

9.如权利要求7中记载的太阳能电池的制造方法，其特征在于，

所述热扩散是利用大气压等离子体、闪光灯退火、激光烧蚀中的至少一项来进行的。