[发明专利]用于半导体装置的焊线在审
| 申请号: | 201310019596.5 | 申请日: | 2013-01-18 |
| 公开(公告)号: | CN103943584A | 公开(公告)日: | 2014-07-23 |
| 发明(设计)人: | 杜嘉秦 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陆勍 |
| 地址: | 中国台湾高雄市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 半导体 装置 | ||
1.一种用于半导体装置的焊线,其特征在于:所述焊线包含:
一蕊线,其包含铜为主要成分;
一金属层,设于所述蕊线上,所述金属为锡、锌、镁或铟;以及
一扩散层,设于所述蕊线与所述金属层之间,所述扩散层由所述蕊线与所述金属层的金属形成。
2.如权利要求1所述的用于半导体装置的焊线,其特征在于:所述焊线另包含一抗氧化层位于所述焊线的最外层。
3.如权利要求1所述的用于半导体装置的焊线,其特征在于:所述焊线另包含一金属氧化层位于所述金属层上,所述金属氧化层由所述金属层部分氧化形成。
4.如权利要求1所述的用于半导体装置的焊线,其特征在于:所述蕊线包含至少99.9重量%的铜。
5.如权利要求1所述的用于半导体装置的焊线,其特征在于:所述蕊线另包含锡、锌、镁或铟。
6.一种半导体装置,其特征在于:所述半导体装置包含:
一载板;
一半导体芯片,设于所述载板;及
一焊线,电性连接所述半导体芯片及所述载板;
其中所述焊线包含:
一蕊线,其包含铜为主要成分;
一金属层,设于所述蕊线上,所述金属为锡、锌、镁或铟;以及
一扩散层,设于所述蕊线与所述金属层之间,所述扩散层由所述蕊线与所述金属层的金属形成。
7.如权利要求6所述的半导体装置,其特征在于:所述焊线另包含一抗氧化层位于所述焊线的最外层。
8.如权利要求6所述的半导体装置,其特征在于:所述焊线另包含一金属氧化层位于所述金属层上,所述金属氧化层由所述金属层部分氧化形成。
9.如权利要求6所述的半导体装置,其特征在于:所述蕊线包含至少99.9重量%的铜。
10.如权利要求6所述的半导体装置,其特征在于:所述蕊线另包含锡、锌、镁或铟。
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