[发明专利]压力传感器

说明书

技术领域

本发明涉及一种压力传感器，尤其是涉及一种在收纳有压力检测元件的受压空间内封入有液体的液体封入式压力传感器。

背景技术

以往，已提出各种如下所述的压力传感器：在收纳压力检测元件的受压空间内封入液体，将从外部施加给压力检测室的压力经液体传递给压力检测元件，由此从压力检测元件输出与外部压力对应的电压信号。

作为上述液体封入式压力传感器的一例，在专利文献1中，记载有一种基座板（下面，称为“基座”），该基座板具有：在受压空间中注入液体后进行封闭的一个油封入孔（下面，称为“封入孔”）、以及在以传感器芯片为中心的同一圆周上所配置的多个密封用的孔（下面，称为“引线孔”）。

在制造这种压力传感器时，在基座形成有封入孔和多个引线孔，在各引线孔安装有引线销、以及对其间隙进行填埋的密封用的圆筒状玻璃，通过加热等分别进行固定并封闭各个孔，此外在封入油后，在封入孔安装封入球，通过焊接等对其进行密封、固定。

由于上述封入孔与引线孔的密封作业的内容略有不同，因此，在该密封作业的前阶段，需要把握封入孔和引线孔相对于基座的相对的位置关系、相对于夹具将基座载置于所需的位置上。这是通过例如在夹具的底面形成与封入孔或者引线孔嵌合的部分、使他们相互嵌合地进行旋转等来实现的。

专利文献1：日本特开平10-122997号公报

但是，当为了相对于夹具将基座载置到所需的位置上而采用在夹具上形成与封入孔卡合的凸部并使它们嵌合的结构时，需要用图像检测封入孔的位置，根据其结果使基座旋转等以使封入孔和上述凸部嵌合，将该基座载置到夹具内，在这种方法中，载置作业复杂，生产性极低。

与此相对地，即便采用在夹具上形成与引线孔卡合的凸部并使它们嵌合的结构，由于需要将圆筒状玻璃插入安装成相对于引线孔为同一高度，所以，需要在夹具上形成与全部引线孔卡合的形状相同的凸部且该凸部的数量要与引线孔的数量相同。

此外，当引线孔的排列圆周上形成有封入孔的情况下，因为需要载置到使形成于夹具的凸部不与封入孔嵌合、而使形成于夹具的凸部与全部引线孔嵌合的位置，因此，与形成一个与封入孔卡合的凸部来进行定位的上述情况相同，基座对于夹具的载置作业变得复杂。

发明内容

发明所要解决的问题：

因此，本发明是为了解决上述问题而做的，其目的在于，其提供一种压力传感器，该压力传感器不需要通过图像检测引线孔的位置等复杂的作业，基座对于夹具的载置较为容易，能够提高生产性。

用于解决问题的手段：

为了实现上述目的，本发明的压力传感器，其具有：压力检测元件；内表面固定有该压力检测元件的基座；与该基座相对配置的承载部件；由所述基座和该承载部件夹持的膜片；以及封入所述基座和该膜片之间的空间的液体，所述承载部件与所述膜片之间的空间内的压力通过所述膜片以及所述液体传递给所述压力检测元件，该压力传感器中，在所述基座上，封入所述液体时所用的封入孔、以及多个引线孔等间隔地设置在同一圆周上，该引线孔安装有与所述压力检测元件电连接的引线部件以及密封部件，该封入孔的内径比该密封部件的外径小。

在优选的方案中，所述密封部件为密封（英文：hermetic seal）用的圆筒状玻璃。

根据本发明，由于不必考虑引线孔及封入孔的位置关系就能实施基座对于夹具的载置作业，因此，当载置基座时，不需要进行封入孔的图像检测、用于将基座插入到夹具的构件的旋转等，能将制作装置简单化，能提高压力传感器的组装、制造效率。

此外，因为封入孔和引线孔等间隔地形成于同一圆周上，所以基座的强度及耐压性整体上均等，故基座不易破损，能够提高压力传感器的耐压性和气密性。

发明效果：

综上所述，根据本发明，使基座对于在封入孔和引线孔的密封作业中所需的夹具的载置变得容易，因此，能够使该压力传感器的组装、制造作业简单化而提高生产性，并能够提高该压力传感器的耐压性和气密性。

附图说明

图1是表示本发明的压力传感器的一实施方式的图，图1（a）是俯视图，图1（b）是图1（a）的A-A线的截面图。

图2是表示在本发明的压力传感器的基座上安装引线销以及密封部件的作业工序的图，上图是俯视图，下图是上图的B-B线的截面图。图2（a）表示只有夹具的状态，图2（b）表示在夹具的凸部上嵌合了基座的所有的孔的状态。