[发明专利]一种压电振子制备方法及应用该方法制备的压电振子

权利要求书

1.一种压电振子的制备方法，其特征在于，包括：

准备压电块材，所述压电块材的上下端面平整且平行；

在压电块材的上下端面制备电极并对该电极进行极化；

对压电块材按第一方向线进行切割，得到多个第一方向槽，其中所述第一方向槽的深度小于压电块材的厚度； 

将压电块材上下端面翻转，对其按第二方向线进行切割，得到多个与第一方向槽垂直的第二方向槽，其中所述第二方向槽的深度小于压电块材的厚度；

对压电块材进行划切，获取所需的压电振子；

其中，对压电块材进行横向线切割之后，还包括对压电块材的第一方向槽内灌注聚合物，并固化聚合物；对压电块材进行纵向线切割之后，还包括对压电块材的第二方向槽内灌注聚合物，并固化聚合物。

2.根据权利要求1所述的一种压电振子的制备方法，其特征在于，所述第一方向槽或者/和第二方向槽的深度大于压电块材厚度的9/10。

3.根据权利要求2所述的一种压电振子的制备方法，其特征在于，所述相邻两个第一方向槽或者/和第二方向槽的宽度一致。

4.根据权利要求3所述的一种压电振子的制备方法，其特征在于，所述相邻第一方向槽或者/和第二方向槽之间保留的压电块材宽度小于压电块材厚度的1/2。

5.根据权利要求4所述的一种压电振子的制备方法，其特征在于，所述第一方向槽的宽度、深度与所述第二方向槽的宽度、深度相同。

6.根据权利要求5所述的一种压电振子的制备方法，其特征在于，所述第一方向槽或者第二方向槽的宽度w,相邻两个第一方向槽或者第二方向槽的宽度p满足0.4 < p²/(p+w)² < 0.9。

7.根据权利要求1-6任一项所述的一种压电振子的制备方法，其特征在于，所述对压电块材的第一方向槽或者第二方向槽内灌注聚合物，并固化聚合物的步骤为：

将所述横向线或者纵向线切割之后的压电块材放置在灌胶模具中，将具有流动性的聚合物倒入灌胶模具中，聚合物液面高于压电块材的上端面；

将灌胶模具置于真空中去除聚合物中的气泡，再将一个压具放置在压电块材上，压具的面积大于压电块材的面积，对压具施加压力压紧压电块材，挤出压电块材上下端面电极表面覆盖的聚合物；

将灌入的聚合物固化，将压电块材从灌胶模具中取出，切除压电块材四边凸起的聚合物。

8.一种应用权利要求1所述方法制备的压电振子，主要包括其上下端面平整且平行的压电块材，其特征在于，所述压电块材上下端面制备有被极化的电极；所述压电块材上端面的横向方向上开有多个第一方向槽，所述压电块材下端面的纵向方向上开有多个与第一方向槽垂直的第二方向槽，所述第一方向槽以及第二方向槽的深度小于压电块材的厚度；所述第一方向槽以及第二方向槽内填充有固化的聚合物。

9.根据权利要求8所述的压电振子，其特征在于，所述平整且平行的压电块材为压电陶瓷材料或者压电单晶材料；所述聚合物为环氧树脂、聚氨酯或者硅橡胶材料。

10.根据权利要求8或9所述的压电振子，其特征在于，所述电极材料为：金属或合金，包括：金、银、铂、铜、铝、镍，或银/钯合金、铜/钛合金、镍/铬合金。