[发明专利]一种用于透射电镜薄膜样品的研磨抛光装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于透射电镜薄膜样品的研磨抛光装置。

背景技术

理想的透射电镜薄膜样品要求具有面积大而均匀并且无人为缺陷的薄（电子束透明）区，制备出这样的样品要经过多道程序的减薄，一般第一步是机械预减薄（研磨），要求至少研磨至30μm左右后才能进行下一步减薄，因此机械研磨是透射电镜薄膜样品制备的关键步骤之一，而好的研磨工具也尤为重要。

手工研磨装置尽管对操作者的要求较高，但由于其更加经济，因而应用较为广泛。目前，市场上销售的透射电镜薄膜制样的研磨抛光装置，或价格昂贵，效率较低，或结构复杂，操作不便。其中，针对楔形样品的研磨，大多数的研磨工具采用了多个微分头进行角度调节，这样不但没有大大提高研磨的效率和精度，反而增加了工具的制造成本。而本发明的一个创新之处就在于只采用一个微分头控制楔形样品的倾斜角度，使得在精度得到保证的同时，装置的制造成本极大节约。

发明内容

本发明针对现有手工研磨工具的不足，提供一种可以大幅节约制造成本并提高研磨效率的用于透射电镜薄膜样品的研磨抛光装置。

本发明通过以下技术方案实现：

一种用于透射电镜薄膜样品的研磨抛光装置，该研磨抛光装置包括圆柱形基体、三个圆柱形支柱、三个旋转螺杆、直角棱台和微分头。

圆柱形基体有四个通孔，除中心通孔外，其余三个通孔围绕圆柱形基体底部的圆心均匀分布，三个通孔与三个圆柱形支柱滑动配合。

旋转螺杆，包括圆柱状套筒和螺杆二部分，圆柱状套筒通过螺钉与圆柱状基体上相应通孔固定连接，圆柱状套筒的中心处开有螺纹通孔，供螺杆进出。

直角棱台上有与圆柱状基体中心的通孔相对应的通孔，螺栓穿过中心通孔将其与圆柱状基体固定连接；直角棱台的棱角处开有半圆形凹槽和三分之二圆形通孔。

微分头与直角棱台配合，通过半圆形凹槽固定，并利用螺钉锁紧。

本发明具有结构简单，造价低，能够对楔形样品进行微米级别地研磨等优点。其最大优点是对楔形样品的倾斜角度可以较为精确的控制，从而增加样品制备的效率，并提高样品研磨的均匀性。

附图说明

图1为本发明的结构剖视图。

图2为本发明的结构俯视图。

图3为直角棱台的结构俯视图。

图4为直角棱台的结构左视图。

图中：1圆柱形基体；2圆柱体支柱；3旋转螺杆；4直角棱台；5微分头；

6样品；7三分之二圆形通孔；8半圆形凹槽。

具体实施方式

以下结合技术方案和附图详细叙述本发明的具体实施例。

实施例

如图1、图2所示，一种用于透射电镜薄膜样品的研磨抛光装置，三个圆柱形支柱2围绕圆柱形基体1底部圆心等距离均匀分布，并与圆柱形基体1上相应的通孔滑动配合；三个旋转螺杆3，包括圆柱状套筒3-1和螺杆3-2两部分，其中圆柱状套筒3-1与圆柱形基体1上相应通孔通过螺钉固定连接，圆柱状套筒3-1中心处开有螺纹通孔，可供螺杆3-2进出；

该直角棱台4上有与圆柱形基体1中心通孔相对应的通孔，利用螺栓穿过通孔并用螺母将其与圆柱形基体1固定连接；直角棱台4的棱角外缘部位上开有半圆形凹槽8与三分之二圆形通孔7；

一个微分头5与直角棱台4配合，通过半圆形凹槽8固定，并利用螺钉锁紧。

操作时，将旋转螺杆3的三个圆柱状套筒3-1分别插入到圆柱形基体1上相应的通孔中并用紧定螺钉固定，然后将螺杆3-2旋入到套筒中。再将圆柱形支柱2插入到圆柱形基体1的通孔中，并通过调节旋转螺杆3来调节三个圆柱形支柱2外伸长量，使三个圆柱形支柱2的底面在同一水平面上。调平后，将直角棱台4与圆柱形基体1相连，并用螺栓和螺母固定，再将微分头5放入到直角棱台4上相应的半圆形凹槽8中，并用螺钉锁紧。再把样品6放入到直角棱台4的三分之二圆形通孔7中。利用微分头5来调节样品6的外伸长度，使之达到需要的位置后，用螺钉锁紧样品6。最后进行研磨。研磨时，将该装置的圆柱形支柱2置于砂纸或有砂纸的平面上，通过手持圆柱形基体1进行往复直线运动即可将样品6磨成楔形，亦可以做“8”型运动对样品6进行减薄与抛光。

本发明装置结构简单，造价低，具有易组装、易操作的特点，并且可以利用微分头的调节对楔形样品的倾斜角度进行较为精确的控制。