[发明专利]一种将石墨烯转移到具有PDMS过渡层硬质衬底上的方法

权利要求书

1.一种将石墨烯转移到具有PDMS过渡层的硬质衬底上的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

a)将PDMS胶涂在附着有石墨烯的原衬底上；

b)使所述PDMS胶固化成PDMS过渡层；

c)对该PDMS过渡层与硬质衬底进行等离子处理，然后将该PDMS过渡层与硬质衬底进行轻压键合；

d)将键合后的硬质衬底放入腐蚀液中腐蚀掉所述原衬底；

e)用去离子水反复清洗石墨烯/PDMS过渡层/硬质衬底结合体并吹干，即得到转移到具有PDMS过渡层的硬质衬底上的石墨烯。

2.根据权利要求1所述的将石墨烯转移到具有PDMS过渡层的硬质衬底上的方法，其特征在于，所述步骤a）中的原衬底的是指铜箔或电镀铜。

3.根据权利要求1所述的将石墨烯转移到具有PDMS过渡层的硬质衬底上的方法，其特征在于，所述步骤c）中的硬质衬底为玻璃片、氧化硅、硅片或石英片中的一种。

4.根据权利要求1所述的将石墨烯转移到具有PDMS过渡层的硬质衬底上的方法，其特征在于，所述步骤d）中的腐蚀液为三氯化铁腐蚀液或硫酸双氧水腐蚀液。

5.根据权利要求1所述的将石墨烯转移到具有PDMS过渡层的硬质衬底上的方法，其特征在于，所述步骤a）和步骤b）之间还包括将涂好PDMS胶的衬底放入真空干燥箱中静置，去除所述PDMS胶中气泡的步骤。

6.根据权利要求1所述的将石墨烯转移到具有PDMS过渡层的硬质衬底上的方法，其特征在于，所述步骤b）具体是指采用90℃至120℃的温度热烘30至120分钟使所述PDMS胶固化成PDMS过渡层。