[发明专利]一种立体显示电极及其制造方法

权利要求书

1.一种立体显示电极，包括透明薄膜显示电极（4）和与所述透明薄膜显示电极（4）连接的立体辅助电极，其特征在于：所述立体辅助电极包括成型绝缘层（1）和固定在所述成型绝缘层（1）上端的封闭绝缘层（2），所述成型绝缘层（1）内设有用于容纳导电部（5）的凹槽；所述立体辅助电极通过所述成型绝缘层（1）下端设置的至少一个连通孔（3）与所述透明薄膜显示电极（4）相连通。

2.根据权利要求1所述的一种立体显示电极，其特征在于：所述导电部（5）由金属纳米粒子或导电高分子材料构成。

3.根据权利要求1所述的一种立体显示电极，其特征在于：所述成型绝缘层（1）的材质为可光刻的硬性有机材料。

4.根据权利要求1所述的一种立体显示电极，其特征在于：所述封闭绝缘层（2）的材质为可印刷的且与所述成型绝缘层（1）的材质有良好粘结性的粘性材料。

5.一种如权利要求1所述的立体显示电极的制造方法，其特征在于包括如下步骤：

①将可光刻的材料涂覆在带透明薄膜显示电极（4）的基板上，涂覆厚度为1μm-25μm，形成感光薄膜层；

②经过预烘烤去除溶剂，预烘温度为90℃±5°C，时间为90s；其中，溶剂为丙二醇甲醚醋酸酯；

③紫外光经过设有不透光、透一部分光或完全透光图案的光掩膜对感光薄膜层曝光；

④用碱性显影液除去已经感光部分或未感光部分的光刻材料，得到预设的成型绝缘层（1）；所述成型绝缘层（1）包括由不同透光图案形成的成型绝缘层（1）内的凹槽和连通孔（3）；

⑤显影后的感光薄膜层要经高温处理，所述高温处理为温度130°C±5°C，烘烤时间为20min。

⑥经超纯水漂洗并干燥后，得到洁净的成型绝缘层（1）；

⑦用喷墨印刷法将构成导电部（5）的导电材料填充到所述成型绝缘层（1）的凹槽内，加热固化去除电极材料中的溶剂；所述溶剂为水基溶剂时，加热温度为100°C-130°C，时间60min；所述溶剂为有机溶剂时，加热温度为100°C-120°C，时间30min；

⑧用喷墨印刷法或凸版印刷法将粘性材料印刷到已固化有所述导电部（5）的成型绝缘层（1）的上表面，经温度为120°C-150°C，时间60min的加热固化或紫外光固化后，形成封闭绝缘层（2）。

6.一种如权利要求5所述的立体显示电极的制造方法，其特征在于：步骤④中所述的碱性显影液为浓度为0.1%-1.5%的氢氧化钠或氢氧化钾溶液。