[发明专利]一种蓝宝石加工最终清洗工艺

权利要求书

1.一种蓝宝石加工最终清洗工艺，其特征在于，包括以下清洗步骤：a：异丙醇清洗；b：乙醇清洗；c：去离子水清洗；d：氨水清洗；e：去离子水清洗；f：磷酸清洗；g：去离子清洗；h：氢氟酸清洗；i：去离子水清洗；j：去离子水清洗。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石加工最终清洗工艺，其特征在于：所述步骤a所用的异丙醇不含去离子水；异丙醇配合超声使用，超声波频率为40kHz，时间为4-8分钟，优选5分钟。

3.根据权利要求1所述的蓝宝石加工最终清洗工艺，其特征在于：所述的步骤b中乙醇为无水乙醇；乙醇配合超声使用，超声波频率为40kHz，时间为8-15，优选10分钟。

4.根据权利要求1所述的蓝宝石加工最终清洗工艺，其特征在于：所述的步骤c所用去离子水为18MΩ的超纯去离子水；其清洗时间为10分钟，清洗温度为40~70℃，优选50℃。

5.根据权利要求1所述的蓝宝石加工最终清洗工艺，其特征在于：所述的步骤d中氨水清洗为氨水和双氧水以及水的混合，其比例为氨水：双氧水：去离子水=1:2:40-1:1:40；所述的氨水清洗必须在沸腾和超声的情况下清洗，超声频率为120KHz，时间为不超过5分钟，优选5分钟。

6.根据权利要求1所述的蓝宝石最终清洗工艺，其特征在于：所述的步骤e中去离子水清洗，使用的去离子水为18MΩ的超纯去离子水；所述的去离子水清洗，配合使用超声波清洗，清洗频率为40KHz，清洗时间为10分钟。

7.根据权利要求1所述的蓝宝石加工最终清洗工艺，其特征在于：所述的步骤f中磷酸清洗使用磷酸和双氧水混用，其比例为磷酸：双氧水：水=1:2:10-1:1:10；所述的磷酸清洗必须配合超声波使用，超声频率为120KHz，清洗温度为沸腾，清洗时间为5分钟。

8.根据权利要求1所述的蓝宝石加工最终清洗工艺，其特征在于：所述的步骤g中去离子水采用18MΩ的去离子水；其清洗时间为10分钟，清洗温度为50℃。

9.根据权利要求1所述的蓝宝石加工最终清洗工艺，其特征在于：所述的步骤h中氢氟酸质量浓度为3-5%，清洗时间为3分钟。

10.根据权利要求1所述的蓝宝石加工最终清洗工艺，其特征在于：所述的步骤i中去离子水采用18MΩ的去离子水，清洗温度为60℃，清洗时间为10分钟；所述的步骤j中去离子水采用18MΩ的去离子水，清洗时间为5分钟。