[发明专利]直梁屈曲静电式微机械光开关

权利要求书

1.一种直梁屈曲静电式微机械光开关，包括：微梁(307)、固定基座(304)、外构架(310)、楔形挤压结构（301）、静齿驱动电极和动齿驱动电极构成的驱动电极对(305,306)、静齿调节电极和动齿调节电极构成的调节电极对(302,303)、微反射镜(314)和光纤(313)，其特征在于：

固定基座(304)与微梁(307)连为一体，且在两者连接位置处采用跨度支撑结构(309)，用于提高微梁(307)所受到的轴向载荷；

固定基座(304)与外构架(310)通过楔形挤压结构(301)固定，用于提高微梁(307)所受到的轴向载荷；

固定基座(304)与外构架(310)的两端设有导向机构(308)，用于限制微梁(307)的左右摆动；

调节电极对(302,303)采用梳齿状结构，固定在微梁(307)上，且上下对称；

外构架(310)的中间位置设有导向槽(312)，用于限制微镜支架(311)的上下移动。

2.根据权利要求1所述的直梁屈曲静电式微机械光开关，其特征在于微梁(307)的中间位置采用菱形结构，用于增大横向静电载荷的受力面积，减小微梁(307)所需的驱动电压。

3.根据权利要求1所述的直梁屈曲静电式微机械光开关，其特征在于固定机座(304)、外构架(310)、微梁(307)和微镜支架(311)均采用硅材料制作。

4.根据权利要求1所述的直梁屈曲静电式微机械光开关，其特征在于固定基座（304）的右侧和微梁（307）的左侧表面均沉积有金膜层，该两金膜层构成驱动电极对（305,306），并通过压焊方式与外部驱动电路相连。

5.根据权利要求1所述的直梁屈曲静电式微机械光开关，其特征在于调节电极对（302,303）通过压焊方式与外部调节电路相连，且同步控制，保证微梁(307)保持“微弯平衡”状态。

6.根据权利要求1所述直梁屈曲静电式微机械光开关，其特征在于微梁(307)采用纵横弯曲变形结构，以实现低压大行程驱动。

7.根据权利要求1所述直梁屈曲静电式微机械光开关，其特征在于光纤(313)呈交叉垂直放置。

8.根据权利要求1所述直梁屈曲静电式微机械光开关，微反射镜(314)固定于微镜支架(311)的前端，且微反射镜(314)和输入输出光纤(313)位于同一平面上。