[发明专利]可调谐光学滤波器及应用

权利要求书

1.可调谐光学滤波器，其特征在于，包括柱形微腔、耦合波导、位移装置，其中所述柱形微腔横截面的尺寸沿其纵向缓变，所述耦合波导与柱形微腔相互耦合，所述位移装置能够沿柱形微腔纵向改变耦合波导与柱形微腔之间耦合点位置。

2.根据权利要求1所述的可调谐光学滤波器，其特征在于：所述的柱形微腔的材料是二氧化硅，聚合物，半导体，或光学晶体。

3.根据权利要求1所示的可调谐光学滤波器，其特征在于：所述的柱形微腔的横截面几何形状是圆形，椭圆形，或多边形。

4.根据权利要求1所示的可调谐光学滤波器，其特征在于：所述的耦合波导是锥形光纤，D型光纤，集成波导，或耦合棱镜。

5.根据权利要求1所述的可调谐光学滤波器，其特征在于：所述的柱形微腔的横向尺寸范围为1微米～3毫米。

6.根据权利要求1所述的可调谐光学滤波器，其特征在于：

所述的柱形微腔与耦合波导之间的耦合间距可以调谐，间距范围为0～2微米。

7.根据权利要求1所述的可调谐光学滤波器，其特征在于：上述耦合波导的数量为二，且上述两个耦合波导对称的设置所述柱形微腔的侧面。

8.根据权利要求1-7之一所述的可调谐光学滤波器在光学位移传感器的应用，其特征是柱形微腔固定在可感知外界位移的自由移动平台上，外界的位移量使得柱形微腔与耦合波导之间产生相对位移，柱形微腔纵向改变耦合波导与柱形微腔之间耦合点位置，使得耦合位置处的微腔直径发生改变，共振波长因此会改变；根据已知首先标定的共振波长变化量与位移量之间的对应关系，只要知道共振波长的变化量，就能够推算出位移的大小。