[发明专利]一种多自由度精密调整机构

权利要求书

1.一种多自由度精密调整机构，包括连接结构、倾斜柔性支撑结构、位移柔性支撑结构和固定机构，连接结构包括面弹簧、面弹簧外圈固定夹和面弹簧内圈固定夹，倾斜柔性支撑结构包括倾斜支撑架、Rx驱动装置和Ry驱动装置，位移柔性支撑结构包括位移支撑架、X 向驱动装置和Y向驱动装置，固定机构包括支撑座、楔形块和固定架，固定架用于固定被调整元件，面弹簧内圈固定夹和固定架之间相连、倾斜支撑架和位移支撑架相连、位移支撑架和支撑座之间通过固定架和面弹簧内圈固定夹之间的夹紧力贴合、支撑座和楔形块之间相连、楔形块和固定架之间贴合定位。

2.根据权利要求1所述的多自由度精密调整机构，其特征在于，所述位移支撑架和倾斜支撑架均为一柔性支撑架结构，具有内圈、内圈保持架、外圈和外圈保持架。

3.根据权利要求2所述的多自由度精密调整机构，其特征在于，所述内圈和外圈上均具有左右对称分布的4个狭缝槽，内圈和外圈分别通过相应的驱动装置进行相应方向的精密调整。

4.根据权利要求3所述的多自由度精密调整机构，其特征在于，所述面弹簧外圈固定夹和面弹簧内圈固定夹的配合进行Rx、Ry和Rz的粗调整。

5.根据权利要求3所述的多自由度精密调整机构，其特征在于，利用微电机或精密螺杆驱动所述倾斜支撑架和所述位移支撑架实现精密调整。

6.根据权利要求4或5所述的多自由度精密调整机构，其特征在于，所述柔性支撑架结构在与所述驱动装置相对的一侧安装有弹簧柱塞，提供回复力。

7.根据权利要求4或5所述的多自由度精密调整机构，其特征在于，所述面弹簧具有多条对称分布的狭缝槽，将面弹簧分割成内外圈两部分，在X、Y、Rz方向具有较好的刚性，在Rx、Ry及Z方向上，具有柔性弹片结构。

8.根据权利要求4或5所述的多自由度精密调整机构，其特征在于，所述面弹簧为Z向厚度较薄的薄片结构。