[发明专利]一种增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法有效

专利信息
申请号: 201310009300.1 申请日: 2013-01-10
公开(公告)号: CN103924207B 公开(公告)日: 2017-04-19
发明(设计)人: 张燕辉;于广辉;陈志蓥;王彬;张浩然 申请(专利权)人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
主分类号: C23C16/26 分类号: C23C16/26
代理公司: 上海光华专利事务所31219 代理人: 李仪萍
地址: 200050 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 增强 泡沫 温度 氧化 能力 方法
【权利要求书】:

1.一种增强泡沫铜在20℃到200℃下抗氧化能力的方法,其特征在于:该方法包括以下步骤:

将泡沫铜放入无氧反应器中,抽真空并通入惰性气体,加热使泡沫铜达到1000℃-1100℃反应温度,其中,所述的泡沫铜为纯铜或者铜合金制备的三维网状材料;向无氧反应器中通入含碳气体,其中,所述含碳气体为一氧化碳、甲烷、乙炔、乙醇、苯、甲苯、环己烷、酞菁中的一种或几种的组合在一定气压下反应一定时间,待炉内温度冷却至室温,得到的泡沫铜表面覆盖了一层致密的超薄碳膜,用于提高泡沫铜在较高温度下的抗氧化能力。

2.根据权利要求1所述的增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法,其特征在于:所述无氧反应器包括石英管(5)、包围所述石英管(5)的加热炉体(4)、位于该石英管(5)内的衬底托(3)、位于该石英管(5)上方的进气气路(1)以及位于该石英管(5)底部的出气气路(2)。

3.根据权利要求1所述的增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法,其特征在于:所述一定气压为0.1-7600torr。

4.根据权利要求1所述的增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法,其特征在于:所述一定时间为大于零小于9999min。

5.根据权利要求1所述的增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法,其特征在于:所述含碳气体为通过加热含碳元素液体或固态材料获得的含碳气体。

6.根据权利要求1所述的增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法,其特征在于:将泡沫铜放入无氧反应器之前还包括将该泡沫铜依次用四氯化碳、丙酮、酒精、去离子水超声清洗后烘干的步骤。

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