[发明专利]一种增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法有效
申请号: | 201310009300.1 | 申请日: | 2013-01-10 |
公开(公告)号: | CN103924207B | 公开(公告)日: | 2017-04-19 |
发明(设计)人: | 张燕辉;于广辉;陈志蓥;王彬;张浩然 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26 |
代理公司: | 上海光华专利事务所31219 | 代理人: | 李仪萍 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 增强 泡沫 温度 氧化 能力 方法 | ||
1.一种增强泡沫铜在20℃到200℃下抗氧化能力的方法,其特征在于:该方法包括以下步骤:
将泡沫铜放入无氧反应器中,抽真空并通入惰性气体,加热使泡沫铜达到1000℃-1100℃反应温度,其中,所述的泡沫铜为纯铜或者铜合金制备的三维网状材料;向无氧反应器中通入含碳气体,其中,所述含碳气体为一氧化碳、甲烷、乙炔、乙醇、苯、甲苯、环己烷、酞菁中的一种或几种的组合在一定气压下反应一定时间,待炉内温度冷却至室温,得到的泡沫铜表面覆盖了一层致密的超薄碳膜,用于提高泡沫铜在较高温度下的抗氧化能力。
2.根据权利要求1所述的增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法,其特征在于:所述无氧反应器包括石英管(5)、包围所述石英管(5)的加热炉体(4)、位于该石英管(5)内的衬底托(3)、位于该石英管(5)上方的进气气路(1)以及位于该石英管(5)底部的出气气路(2)。
3.根据权利要求1所述的增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法,其特征在于:所述一定气压为0.1-7600torr。
4.根据权利要求1所述的增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法,其特征在于:所述一定时间为大于零小于9999min。
5.根据权利要求1所述的增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法,其特征在于:所述含碳气体为通过加热含碳元素液体或固态材料获得的含碳气体。
6.根据权利要求1所述的增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法,其特征在于:将泡沫铜放入无氧反应器之前还包括将该泡沫铜依次用四氯化碳、丙酮、酒精、去离子水超声清洗后烘干的步骤。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的