[发明专利]一种用于蓝宝石衬底的抛光液

权利要求书

1.一种用于蓝宝石衬底的抛光液，其特征在于是由下列重量百分比的原料制备而成：

硅溶胶   90-95         抛光加速剂 0.05-2

络合剂 0.05-3          pH值调节剂0.05-3

其余的为去离子水；

所述的抛光加速剂是强氧化性盐类与常规无机盐的组合，两者的重量配比为1:1-5；

所述的络合剂是甘氨酸、EDTA、柠檬酸或苯并三氮唑中的一种或多种，当为多种时，各组份的配比为等份或其它比例；

所述的pH值调节剂是乙二胺、三乙醇胺、三乙烯四胺或乙醇胺中的一种或多种，当为多种时，各组份的配比为等份或其它比例；

其制备方法如下：

在室温条件下，一边搅拌、一边将抛光加速剂加入到去离子水中，待完全溶解后，再加入络合剂，得混合水溶液；静置、冷却至室温，将混合水溶液加入硅溶胶中，边加边搅拌，控制加入流量在90-110 ml/min，充分搅拌混合均匀，得抛光液；最后，用pH值调节剂将抛光液的pH值控制在9.0-12.5，即成为用于蓝宝石衬底的抛光液。

2.根据权利要求1所述用于蓝宝石衬底的抛光液，其特征在于：所述的硅溶胶是粒径20-100 nm的纳米硅溶胶。

3.根据权利要求1或2所述用于蓝宝石衬底的抛光液，其特征在于：所述的强氧化性盐类是碘酸钾、过硫酸钾、过硫酸铵中的一种或多种的混合物，当为多种时，各组份的配比为等份或其它比例；

所述的常规无机盐是氯化钾、氯化锂、溴化钠、四甲基氢氧化铵中的一种或多种的混合物，当为多种时，各组份的配比为等份或其它比例。

4.根据权利要求3所述用于蓝宝石衬底的抛光液，其特征在于：强氧化性盐类与常规无机盐的重量配比为1:3。