[发明专利]精密波长调谐装置

权利要求书

1.一种精密波长调谐装置，其特征在于：该装置由扩束器（1）、光栅装调架（2）、闪耀光栅（3）、旋转平台（4）、连杆（5）、直线伺服控制平台（6）、第一圆柱销（7）和第二圆柱销（8）组成，所述的旋转平台（4）由安装底座（4.1）和旋转载物台（4.2）组成,且旋转载物台（4.2）边缘设计有螺纹孔（4.2.1），所述的闪耀光栅（3）通过光栅装调架（2）固定在旋转载物台（4.2）上，所述的连杆（5）的两端各有一个销孔，所述的直线伺服控制平台（6）的载物台边缘设计有一螺纹孔（6.1），第一圆柱销（7）和第二圆柱销（8）均由螺帽、圆柱形销和底部螺杆三部分组成，将第一圆柱销（7）插入所述的连杆（5）一销孔，并将第一圆柱销（7）通过其底部螺杆固定在所述的旋转载物台（4.2）上，第一圆柱销（7）和连杆（5）形成第一转动副，将第二圆柱销（8）插入所述的连杆（5）另一销孔中，并将第二圆柱销（8）通过其底部螺杆固定在所述的直线伺服控制平台（6）的载物台上，第二圆柱销（8）和连杆（5）形成第二转动副，所述的旋转平台（4）、连杆（5）、直线伺服控制平台（6）、第一圆柱销（7）和第二圆柱销（8）构成曲柄滑块机构，将所述的直线伺服控制平台（6）的直线运动转换为旋转平台（4）的回转运动，实现闪耀光栅（3）旋转，使光束入射到所述的闪耀光栅（3）的入射角发生改变，实现波长精密调谐。

2.根据权利要求1所述的精密波长调谐装置，其特征在于所述的扩束器（1）为棱镜扩束器或望远镜式扩束器，扩束器（1）的扩束率为15~23。

3.根据权利要求1所述的精密波长调谐装置，其特征在于所述的闪耀光栅（3）为反射式光栅，光栅常数为1/94.13mm，闪耀角为79°，波长193nm时的衍射级次为108。

4.根据权利要求1所述的精密波长调谐装置，其特征在于所述的旋转平台（4）由安装底座（4.1）和旋转载物台（4.2）组成，安装底座（4.1）和旋转载物台（4.2）之间采用精密轴承连接，保证旋转载物台（4.2）转动时的稳定性，且旋转载物台（4.2）边缘设计有螺纹孔（4.2.1）。

5.根据权利要求1所述的精密波长调谐装置，其特征在于所述的装置的波长调谐精度为：

Δλ=2dcosαk(arccosδl22rL2-r2+δl2-π2+arctanδlL2-r2)]]>

其中：d、α和k分别为闪耀光栅（3）的光栅常数、光栅闪耀角和衍射级次。δl为直线伺服控制平台（6）的最小位移量，r为旋转平台（4）的中心到螺纹孔（4.2.1）中心的距离，L为连杆（5）的两个销孔中心之间的距离。