[发明专利]X射线检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及非破坏性地计测金矿石、贵金属宝石、印刷基板、和电子部晶等被检查对象物中含有的金(Au)的形状和含量的X射线检查装置。

背景技术

过去，作为金矿石、贵金属宝石、印刷基板、和电子部件等被检查对象物中含有的金(Au)的含量的分析方法，通常使用在通过化学反应进行前处理后，使用ICP分析装置等进行分析的方法(参照例如，专利文献1)。

此外，现在还知道荧光X射线分析装置(参照例如，专利文献2)，其对被检查对象物照射比较弱能量的X射线，通过解析从被检查对象物发出的元素固有的荧光X射线的波长或强度，来非破坏性地分析构成被检查对象物的元素的种类、含量。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-128315号公报

专利文献2：日本特开2007-003283号公报

发明内容

发明要解决的课题

但专利文献1那样的通过化学反应进行前处理或使用反应试剂等的情况，会破坏被检查对象物的形状，所以不能再现原物，因而不能一定确保分析结果的可信性，同时存在不能计测被检查对象物中含有的Au的形状的问题。此外，由于需要足够的化学反应时间和干燥时间等，所以要得到分析结果就需要较长的时间。因此，分析者的个人误差和处理时间等的外部影响容易使分析精度产生误差。此外，在专利文献2那样，通过荧光X射线分析来分析被检查对象物中含有的Au含量之际，要使用能量值Au-Lα=9.712eV～Au-Lγ=13.38eV程度的X射线，所以仅能够得到从被检查对象物的表面到几十个微米程度的深度的表面信息，仅能再薄膜镀层等的厚度的测定中实用化。

本发明鉴于上述各种课题而完成，其目的在于，提供能够迅速且高精度地非破坏性计测被检查对象物中含有的金(Au)的形状和含量的X射线检查装置。

解决课题的手段。

为了实现上述目的，本发明的主要内容如下：

(1).一种X射线检查装置，具备：向被检查对象物照射90keV以上的X射线的X射线发生器；检测从所述被检查对象物透过来的X射线的X射线检测器；以及，基于该X射线检测器检测到的X射线信号来计测所述被检查对象物中含有的金Au的形状和含量的演算部，所述X射线检查装置的特征在于，由Au形成的第1滤波器、和由Pt或原子序号比Pt低的材料形成的第2滤波器分别设置在所述X射线检测器与所述被检查对象物之间，所述X射线检测器，对从所述X射线发生器照射出、并从所述被检查对象物和所述第1滤波器透过来的X射线、以及从所述X射线发生器照射出、并从所述被检查对象物和所述第2滤波器透过来的X射线分别进行检测，所述演算部基于所述X射线检测器检测到的各X射线信号来计测所述被检查对象物中含有的Au的形状和含量。

(2).如上述(1)所述的X射线检查装置，其特征在于，具备用于移送所述被检查对象物的移送部，所述X射线检测器具备第1X射线线阵探测器和第2X射线线阵探测器，所述第1X射线线阵探测器用于检测从所述移送部移送来的所述被检查对象物和所述第1滤波器透过来的X射线，所述第2X射线线阵探测器用于检测从所述移送部移送来的所述被检查对象物和第2滤波器透过来的X射线，所述演算部，通过基于所述第1和第2X射线线阵探测器检测到的各X射线信号进行减算（减法运算）处理，从而生成显示所述被检查对象物中含有的Au的形状和含量的Au抽提X射线图像。

(3).如上述(1)所述的X射线检查装置，其特征在于，具备滤波器调换机构，其可进行切换使得所述第1滤波器和所述第2滤波器中的任一者位于所述X射线检测器和所述被检查对象物之间，

所述X射线检测器是X射线照相机，其通过所述滤波器调换机构分别切换到所述第1滤波器和所述第2滤波器，从而分别接收从所述被检查对象物和所述第1滤波器透过来的X射线、和从所述被检查对象物和所述第2滤波器透过来的X射线，并拍摄各X射线图像，

所述演算部，通过在由所述X射线照相机得到的各X射线图像间进行减算处理，来生成显示所述被检查对象物中含有的Au的形状和含量的Au抽提X射线图像。

(4).如上述(1)~(3)的任一项所述的X射线检查装置，其特征在于，具备显示部，所述显示部可显示所述演算部的计测结果。

发明效果