[其他]离子捕捉片、离子捕捉模块和洁净空气供给装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种捕捉空气中离子物质的离子捕捉片，以及使用了该离子捕捉片的离子捕捉模块，并且还涉及使用了该离子捕捉片作为离子去除机构的洁净空气供给装置。

背景技术

在空气中存在有包括固态微粒、挥发性物质等气体在内的多种污染物质。在LSI、液晶、等离子显示器等的制造过程中，这些污染物质的存在会对产品的可靠性、成品率产生很大影响。

以前，为了捕捉并去除这些空气中的污染物质以便供给洁净空气，使用了HEPA等微粒去除过滤器或化学过滤器(参照专利文献1)。这些过滤器中，微粒去除过滤器主要被用于去除空气中固态微粒，化学过滤器被用于去除化学污染物质的离子。

其中，化学过滤器能有效去除铵离子、钾离子等阳离子、氯化物离子、硫酸离子等阴离子，但因维护和更换方面需要费用，因此仅在无尘室等实现高洁净度的情况下使用。

专利文献1：日本特开2000-262893号公报

发明内容

另一方面，发明人等积极且反复研究关于使用廉价材料来捕捉或除去空气中离子物质的机构装置。发明人等在研究过程中发现，将使竹碳粉粒体分散于绝缘体中所成的片体放置在阳离子或阴离子任一离子物质占优势的环境下时，离子物质会吸附于在片体表面露出的粉粒体上。

本发明有效利用该现象，目的在于提供能使用廉价材料来捕捉空气中离子物质的片体、以及使用了该片体的离子捕捉模块和洁净空气供给装置。

为了达成上述目的，本发明的离子捕捉片的特征在于，该离子捕捉片是：使导电性粉粒体分散于绝缘体中且其一部分在该绝缘体的表面露出的混合物被形成为平板状而成的片体，在阳离子或阴离子任一离子物质占优势的空气中，上述离子物质被露出在上述绝缘体的表面的粉粒体所捕捉。

在此，最好上述混合物形成为带状，且以贯通其截面的方式有规律地形成有多个孔。

另外，本发明的离子捕捉模块的特征在于，具备：上述离子捕捉片、以及具有容纳上述离子捕捉片的空洞部的壳体，在上述壳体的外表面形成有连接上述空洞部与大气的多个孔或开口部。

在此，最好上述离子捕捉片以与上述壳体之间具有空隙的状态被上述壳体支撑。且最好在上述壳体的一侧的外表面安装有卡子(clip)，该卡子用于将上述壳体安装于过滤器单元的过滤部。

或者，最好上述壳体由第1及第2壳体片构成，该第1及第2壳体片由四边形的板状构件来制作，且具有多个开口部，上述第1及第2壳体片以隔着规定间隔的状态被保持，使得其间形成空洞部。

另外，在上述第1壳体片的相对的一对边上分别安装有U字形安装构件,该U字形安装构件是以能够旋转的状态安装的，用于将上述壳体安装于过滤器单元的过滤部。

此外，本发明的洁净空气供给装置具备圆筒状支撑体、上述离子捕捉片、导电性支撑环、导电性栅网、以及风扇，上述支持环和栅网被接地；上述离子捕捉片被成形为圆筒状且以其外周面与上述支撑体的内周面接触的方式配置；上述导电性支撑环在上述支撑体的内周面与上述离子捕捉片接触，且被配置在与圆筒的轴正交的方向；上述导电性栅网设置于上述支撑环的内周侧；上述风扇在上述支撑体的中空部形成空气流。

在此，最好上述离子捕捉片在轴方向被分割成多个部分，彼此之间配置有上述支撑环。另外，最好上述支撑体由具有导电性的材料制作。

根据本发明，能够用非常廉价的材料实现捕捉空气中的离子的片体。此外，该片体与化学过滤器不同，基本上不需更换，故可廉价地实现使用了该片体的离子捕捉模块和洁净空气供给装置。

附图说明

图1是说明本发明实施方式1的离子捕捉片的构成和功能的图，图1(a)是置于阳离子占优势的空气中的离子捕捉片的截面图，图1(b)是表面附着了阳离子的离子捕捉片的截面图。

图2是表示实验所用的质量分析装置的概略构成的图，该实验用以确认空气中存在的离子物质的移动方向受到离子捕捉片限制的效果。

图3是表示图2的质量分析装置的测定结果的图。

图4是表示本发明实施方式2的离子捕捉模块的构成的俯视图(a)和截面图(b)。

图5是安装有图4的离子捕捉模块的空气净化器的截面图。

图6是表示实施方式2的离子捕捉模块安装于过滤器单元的状态的俯视图(a)和要部侧视图(b)。

图7是安装有本发明实施方式3的离子捕捉模块的过滤器单元的立体图。