[发明专利]基板支撑装置

权利要求书

1.一种基板支撑装置，其特征在于，包括：

旋转夹盘，用于支撑基板，所述旋转夹盘开设有数个第一注入口和数个第二注入口，所述数个第一注入口与第一气体通道连接以向基板供应气体并利用伯努利原理吸附保持基板，所述数个第二注入口与第二气体通道连接以向基板供应气体并吹浮起基板；

第一流量控制器安装在所述第一气体通道上以控制供应至所述数个第一注入口的气体的流量；

第二流量控制器安装在所述第二气体通道上以控制供应至所述数个第二注入口的气体的流量；

数个定位销布置在所述旋转夹盘的顶表面以在所述基板进行预定工艺时防止基板的水平移动；

数个导柱布置在所述旋转夹盘的顶表面，每个导柱凸伸形成支撑基板的支撑部；及

驱动器，用于旋转所述旋转夹盘。

2.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于，所述数个第一注入口设置在旋转夹盘上的一个圆周上且远离旋转夹盘的中心，所述数个第二注入口设置在旋转夹盘上的一个圆周上且靠近旋转夹盘的中心。

3.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于，所述每个第一注入口呈倾斜状且与旋转夹盘的底面之间形成一定角度。

4.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于，所述每个第二注入口垂直于旋转夹盘。

5.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于，所述第一气体通道由第一内气管路和第一外气管路构成，所述第一内气管路与第一注入口连接，第一外气管路与第一内气管路及气体源连接，所述第二气体通道由第二内气管路和第二外气管路构成，所述第二内气管路与第二注入口连接，第二外气管路与第二内气管路及气体源连接。

6.根据权利要求5所述的基板支撑装置，其特征在于，所述旋转夹盘的底面与中空腔体连接，旋转轴与中空腔体连接，旋转轴的上端与中空腔体的底部固定且旋转轴的下端与驱动器固定，第一内气管路和第二内气管路收容在中空腔体内，第一内气管路和第二内气管路分别穿过中空腔体并收容在旋转轴内。

7.根据权利要求5所述的基板支撑装置，其特征在于，进一步包括第一过滤器安装在第一内气管路内以净化通过第一注入口向基板供应的气体，以及第二过滤器安装在第二内气管路内以净化通过第二注入口向基板供应的气体。

8.根据权利要求5所述的基板支撑装置，其特征在于，所述第一内气管路和第一外气管路的连接处采用磁流体密封以防止气体泄漏，第二内气管路和第二外气管路的连接处采用另一磁流体密封以防止气体泄漏。

9.根据权利要求5所述的基板支撑装置，其特征在于，所述第一流量控制器安装在第一外气管路上，第二流量控制器安装在第二外气管路上。

10.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于，所述每个定位销开设有定位槽，基板的外周边缘卡设在定位槽内以限制基板的水平移动。

11.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于，所述每个定位销均由一独立的气缸驱动向内运动以固定基板或向外运动以释放基板。

12.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于，所述定位销分成两组，两组定位销交替布置，两组定位销交替固定基板。

13.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于，所述每个导柱的侧表面作为引导面引导基板准确地放置在支撑部上。

14.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于，进一步包括传输基板的终端执行器。

15.根据权利要求14所述的基板支撑装置，其特征在于，所述终端执行器具有基部，基部的底面向下延伸形成抵接部，抵接部的一部分向下延伸形成止挡部，推移部推动基板紧靠止挡部以将基板固定在终端执行器内或拉动基板以释放基板。

16.根据权利要求15所述的基板支撑装置，其特征在于，所述抵接部的底面安装有接触传感器以检测基板是否与抵接部接触。