[发明专利]微光刻投射曝光设备的照明系统

权利要求书

1.一种微光刻投射曝光设备的照明系统，包含光学积分器(70)，其中，所述光学积分器包含：

a)第一光栅板(74)，其包含沿着参考方向(X)具有第一焦距f₁的第一透镜(78)的阵列；

b)第二光栅板(76)，其包含沿着所述参考方向(X)具有第二焦距f₂的第二透镜(84)的阵列；

其中，所述第一透镜的顶点及所述第二透镜的顶点隔开大于所述第二焦距f₂的距离d，其中，d>1.01·f₂。

2.如权利要求1所述的照明系统，其中，d>1.02·f₂。

3.如权利要求2所述的照明系统，其中，d>1.05·f₂。

4.如前述权利要求任一项所述的照明系统，包含光源(30)，其构造为产生具有波长λ的投射光。

5.如权利要求4所述的照明系统，其中，所述第二透镜(84)沿着所述参考方向(X)具有节距p，以及其中，

p²/(λ·f₂)<k，其中，k＝40。

6.如权利要求5所述的照明系统，其中，k＝20。

7.如权利要求6所述的照明系统，其中，k＝10。

8.如权利要求4至7中任一项所述的照明系统，其中，所述光学积分器(70)布置在所述光源(30)和空间光调制器(38)之间，所述空间光调制器(38)构造为改变所述照明系统(12)的光瞳面(56)中的空间辐照分布。

9.如权利要求8所述的照明系统，其中，所述空间光调制器包含反射或透明光束偏转元件(42)的光束偏转阵列(40)，其中，各光束偏转元件(42)构造为按偏转角来偏转光束，所述偏转角能够响应施加于所述光束偏转元件(42)的控制信号而改变。

10.如权利要求9所述的照明系统，其中，所述光束偏转元件(42)是可倾斜反射镜。

11.如前述权利要求任一项所述的照明系统，其中，f₁≠f₂。

12.如前述权利要求任一项所述的照明系统，包含聚光器(72)，所述聚光器具有其中布置所述第二光栅板(76)的前焦面(88)。