[发明专利]包括空间光调制器的光谱仪

权利要求书

1.一种光谱仪(2；20；30；40)，该光谱仪包括：一个用于光辐射的输入端(4；24；36；44)；一个用于按照波长使从该输入端(4；24；36；44)传递的光辐射色散的色散元件(6；22；32；42)；一个输出端(16；28；38；52)和一个空间光调制器SLM(12；26；34；50)，该输出端和该空间光调制器被安置成用于接收该色散元件(6；22；32；42)所色散的一个输入光辐射波长区域作为相关波长区域(Δλ)并且可操作用于选择性地引导该相关波长区域(Δλ)的多个波长部分以便在该输出端(16；28；38；52)处进行接收；其特征在于，该输入端(4；24；36；44)被配置成用于提供多个入射场光阑(C，D；C’，D’；E，F)，通过这些入射场光阑中的每一个，在使用时照亮该色散元件(6；22；32；42)，并且这些入射场光阑中的每一个被定位成与该色散元件(6；22；32；42)合作以在该SLM(12；26；34；50)上生成一个不同色散波长区域，该SLM(12；26；34；50)上的不同色散波长区域一起提供大于该SLM(12；26；34；50)上的不同色散波长区域中的任一个的该相关波长区域(Δλ)。

2.如权利要求1所述的光谱仪(20；30)，其特征在于，提供有多个光辐射源(S_C，S_D；S_E，S_F)，每一个光辐射源用于通过一个相关联的不同的入射场光阑(C，D；E，F)照亮该色散元件(22；32)，并且在于，每一个光辐射源(S_C，S_D；S_E，S_F)被配置成用于生成具有一个波长范围的光辐射，该波长范围实质上是由与该SLM(26；34)相关联的入射场光阑(C，D；E，F)所生成的在该SLM处入射的色散波长区域的波长范围。

3.如权利要求2所述的光谱仪(20；40)，其特征在于，提供一个控制器(18)，该控制器与该输入端(44)和该多个光辐射源(S_C，S_D)中的一个或两个相连接并且被适配成用于控制一个或两个的操作以在该SLM(26；50)处生成一个时分多路复用信号。

4.如权利要求3所述的光谱仪(20)，其特征在于，该控制器(18)可操作地连接至该多个光辐射源(S_C，S_D)并且被适配成用于依次且无重叠地切换每个光辐射源(S_C，S_D)以生成该时分多路复用信号。

5.如权利要求2所述的光谱仪(20)，其特征在于，提供一个控制器(18)，该控制器与该多个光辐射源(S_C，S_D)相连接并且被适配成用于控制它们的操作以在该SLM(26)处生成一个频分多路复用信号。

6.如权利要求5所述的光谱仪(20)，其特征在于，该控制器(18)被适配成用于同时且以不同强度调制频率激活每个光辐射源(S_C，S_D)以在该SLM(26)处生成该频分多路复用信号。

7.如权利要求1所述的光谱仪(30)，其特征在于，该多个入射场光阑(E，F)和该色散元件(32)被进一步合作地定位成用于用来自一个相关联的不同场光阑(F，E)并通过同一衍射角(β)衍射的光辐射照亮该SLM(34)的不同区域(R_F，R_E)。

8.如权利要求7所述的光谱仪(30)，其特征在于，每个入射场光阑(E，F)被设置成相互移置以在该色散元件(32)处提供光辐射的一个不同入射角(α_E，α_F)，并且这些入射场光阑中的每一个在一个垂直于该色散元件(32)的一个色散平面(X-Y)的方向上相互移置。

9.如权利要求3所述的光谱仪(30)，其特征在于，该控制器(18)被适配成用于同时激活每个光辐射源(S_E，S_F)。

10.如权利要求1所述的光谱仪(20；30；40)，其特征在于，该SLM(26；34；50)是一个数字微镜装置DMD。