[发明专利]氧化物超导薄膜及其制造方法

权利要求书

1.一种氧化物超导薄膜(2)，其特征在于充当磁通钉的纳米粒子(3)分散在所述膜中。

2.根据权利要求1所述的氧化物超导薄膜(2)，其特征在于所述氧化物超导薄膜为通过涂布-热解方法制造的氧化物超导薄膜。

3.根据权利要求1或2所述的氧化物超导薄膜(2)，其特征在于所述氧化物超导薄膜中的所述纳米粒子(3)的分散密度为10²⁰个粒子/m³～10²⁴个粒子/m³。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的氧化物超导薄膜(2)，其特征在于所述纳米粒子(3)的粒径为5nm～100nm。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的氧化物超导薄膜(2)，其特征在于所述纳米粒子(3)是不与有机金属化合物材料反应的纳米粒子，所述有机金属化合物材料为所述氧化物超导薄膜的原料。

6.根据权利要求5所述的氧化物超导薄膜(2)，其特征在于所述纳米粒子(3)含有Ag(银)、Pt(铂)、Au(金)、BaCeO₃(铈酸钡)、BaTiO₃(钛酸钡)、BaZrO₃(锆酸钡)和SrTiO₃(钛酸锶)中的至少一种。

7.根据权利要求1～4中任一项所述的氧化物超导薄膜(2)，其特征在于所述纳米粒子(3)是通过使用并引起与有机金属化合物反应产生纳米粒子的材料与所述有机金属化合物反应而产生的纳米粒子。

8.根据权利要求7所述的氧化物超导薄膜(2)，其特征在于所述纳米粒子(3)是通过CeO₂(氧化铈)、ZrO₂(二氧化锆)、SiC(碳化硅)和TiN(氮化钛)中的至少一种纳米粒子与原料溶液中所含的有机金属化合物之间反应形成的纳米粒子。

9.一种制造氧化物超导薄膜的方法，其特征在于

通过将充当磁通钉的纳米粒子(3)溶解在溶剂中而获得的溶液以预定量添加到通过将有机金属化合物溶解在溶剂中而获得的溶液中以制备用于氧化物超导薄膜的原料溶液，以及

使用所述原料溶液通过涂布-热解方法制造氧化物超导薄膜(2)。

10.一种制造氧化物超导薄膜的方法，其特征在于

通过将与有机金属化合物反应而产生的充当磁通钉的纳米粒子(3)溶解在溶剂中而获得的溶液以预定量添加到通过将有机金属化合物溶解在溶剂中而获得的溶液中以制备用于氧化物超导薄膜的原料溶液，以及

使用所述原料溶液通过涂布-热解方法制造氧化物超导薄膜(2)。

11.根据权利要求9或10所述的制造氧化物超导薄膜的方法，其特征在于将分散剂添加到通过将充当磁通钉的纳米粒子(3)溶解在溶剂中而获得的所述溶液和通过将与有机金属化合物反应以产生充当磁通钉的纳米粒子(3)的纳米粒子溶解在溶剂中而获得的所述溶液中的一种溶液中。

12.根据权利要求10或11所述的制造氧化物超导薄膜的方法，其特征在于所述溶液的制备考虑了被纳米粒子与有机金属化合物反应以产生充当磁通钉的纳米粒子(3)的反应所消耗的有机金属化合物的量。