[发明专利]盖覆的坯体以及用于盖覆坯体的方法有效
| 申请号: | 201280071438.8 | 申请日: | 2012-12-28 |
| 公开(公告)号: | CN104169460A | 公开(公告)日: | 2014-11-26 |
| 发明(设计)人: | R·皮通耐克;A·科勒普;R·韦森巴彻 | 申请(专利权)人: | 倍锐特有限责任公司 |
| 主分类号: | C23C16/34 | 分类号: | C23C16/34;C23C30/00 |
| 代理公司: | 北京嘉和天工知识产权代理事务所(普通合伙) 11269 | 代理人: | 甘玲 |
| 地址: | 奥地利*** | 国省代码: | 奥地利;AT |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 以及 用于 盖覆坯体 方法 | ||
本发明涉及坯体,特别是切割元件,所述坯体至少部分地包括盖覆物,其中所述盖覆物是由一个或更多个盖覆层形成的,其中至少一个盖覆层包括铝、钛和氮,或者是由这些元素形成的。
本发明还涉及用于盖覆一坯体,特别是切割元件,的方法,其中盖覆物至少部分地被施加,所述盖覆物是由一个或更多个盖覆层形成的,其中至少一个盖覆层是由铝、钛和氮形成的。
从现有技术中已知,切割工具或切割元件盖覆有盖覆层以增加切割元件的使用寿命,所述盖覆层是由钛、铝和氮构成的。通常地,不论在盖覆层中是存在一个或更多个相,在这一点上,TiAlN盖覆层经常被提到,其中平均化学组成被给作Τi1-ΧAlΧΝ。对于包含比钛更多的铝的盖覆层,命名AlTiN或者更准确地来说AlΧΤi1-ΧΝ是惯用的。
在具有立方结构的AlTiN系统中的单相盖覆层的生产从WO 03/085152A2已知,其中获得了具有高达67摩尔百分数(mol%)的氮化铝(AlN)相对比例的立方结构的AlTiN。伴随着高达75mol%的更高的AlN含量,获得了立方AlTiN和六方AlN的混合物,并且在大于75mol%的AlN含量时排他地获得了六方AlN和立方氮化钛(TiN)。根据所述被指名的文件,所描述的AlTiN盖覆层是借助于物理气相沉积(PVD)被沉积的。采用PVD法,AlN的最大相对量因而实际上被限制到67mol%,因为否则的话有可能完全转换成仅以六方AlN的形式包含铝的相。然而,根据专家意见,在立方相中更高的相对比例的AlN是符合期望的,以尽可能地使耐磨性最大化。
从现有技术中还已知,可以使用化学气相沉积(CVD)法取代PVD法,其中CVD法是在相对低的温度下在700℃至900℃的温度范围中进行的,因为归因于立方AlTiN盖覆层的亚稳结构,这样的盖覆层不能在例如,>1000℃的温度下被生产。如果必要的话,根据US 6,238,739 B1,温度还可以再低,即,在从550℃至650℃的温度范围中,然而,其中盖覆层中高的氯含量必须被接受,其被证明对于应用是不利的。因此,已经做出尝试来优化CVD工艺,从而可以生产这些具有高比例的铝以及盖覆层的立方结构的AlTiN盖覆层(I.Endler等,Proceedings Euro PM 2006,根特市,比利时,10月23-25日,2006年,第1,219卷)。尽管这些盖覆层展示高显微硬度,以及因此的在原理上针对使用中的高耐磨性的有利的性质,不过,已被证明这样的盖覆层的粘合强度可能是过低的。因此,在这一点上,在DE 10 2007 000 512 B3中已经提出,作为相梯度层被形成的1μm厚的盖覆层将被提供在3μm厚的立方AlTiN盖覆层下面,并且所述1μm厚的盖覆层是由六方AlN、TiN和立方AlTiN的混合相构成的,其中立方AlTiN部分(排他地)在表面上和/或朝向表面存在,立方AlTiN盖覆层以增加的比例存在。相应地被盖覆的切板被用于钢材的铣削,尽管与借助于PVD法生产的盖覆层相比较,在耐磨性上仅获得很少的改进。
除了在耐磨性上仅有的微小的改进,根据DE 10 2007 000 512 B3,其中结合层有额外的缺点,结合和/或相梯度层生长得极其快速,甚至在实验室规模的实验中(I.Endler等,Proceedings Euro PM 2006,根特市,比利时,10月23-25日,2006年,第1,219卷)。而且,在为工业规模的切板的盖覆所设计的较大的反应器中的生产中,这导致在预期的盖覆过程中,结合和/或相梯度层变得极其厚,因为用于先前预期的立方AlΤiΝ形成的温度被降低,其相应地需要时间。然而,在此过程温度的降低期间,结合和/或相梯度层的厚度快速生长,因为在工业规模的反应器中快速冷却是不可能的。可想到的是盖覆过程可能被中断较长时期和/或中断用于冷却,但是这是没有经济效益的。
在借助于CVD法的AlTiN盖覆层的制造中,先前已经假设如果盖覆层中的铝含量尽可能高,并且如果对于盖覆层来说具有完全地立方结构是可能的,那么可以获得耐磨的和抗氧化的,并且因此是最优的盖覆层。
在本发明的情况中,已发现AlTiN盖覆层的某些实施方案可以导致极其耐磨的并且抗氧化的盖覆层,而不需要格外高的铝含量和/或大量地立方结构。
相应地,本发明的一个目的是提供上面提到的类型的坯体,所述类型的坯体具有一盖覆层,所述盖覆层在使用中具有好的耐磨性和类似的抗氧化性。
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