[发明专利]电机控制装置

说明书

技术领域

本文公开的实施方式涉及一种电机控制装置。

背景技术

专利文献1记载了即使电源发生瞬时供电中断也能够继续运转的电机控制装置。该电机控制装置包括：基于位置指令和电机位置生成速度指令并基于速度指令和电机速度生成第一转矩指令的位置和速度控制器；将转矩指令转换成电流指令并基于电流指令和电机电流生成PWM栅极信号的转矩控制器；一旦检测到直流电源的直流电压低于预定电压则生成欠压警报信号并向主控制器输出信号的电压检测器；以及将第一转矩指令限制在主控制器的转矩限制信号并生成第二转矩指令的转矩限制器。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公布第WO2008/093485号

发明内容

本发明所要解决的问题

关于半导体制造装置，存在称作SEMI－F47的标准。该SEMI－F47要求即使发生瞬时供电中断或主电路中的电源电压下降的情况下装置或系统也不停止而应当继续运转。

上述现有技术当在主电路中发生电源电压的下降时应用转矩限制，由此符合SEMI－F47的要求。然而，由于转矩限制，电机有可能无法追踪位置指令，导致位置偏差增大。该情况下，当主电路中的电源电压恢复时，有可能输出与增大的位置偏差相对应的速度指令，在电机中有可能发生过冲，由于例如超速警报的发生，电机有可能停止。

本发明是鉴于上述问题而做出的，本发明的目的是提供能够防止当主电路中的电源电压复原时由于例如超速警报的发生导致电机停止的电机控制装置。

用于解决问题的手段

为了解决上述问题，根据本发明的一个方面，提供一种电机控制装置，包括：主电路，所述主电路包括配置成将交流电源转换成直流电源的转换器、与所述直流电源并联连接的平流电容器、以及配置成将所述直流电源转换成交流电源从而驱动电机的逆变器；电压检测器，所述电压检测器配置成检测所述主电路的直流电压；控制器，所述控制器包括配置成基于位置指令和电机位置来生成速度指令的位置控制器、以及配置成基于所述速度指令和电机速度来生成转矩指令的速度控制器，所述控制器配置成基于所述转矩指令来控制所述逆变器，其中，所述控制器包括：转矩限制器，所述转矩限制器配置成在所述电压检测器检测到所述直流电压小于预定电压时，开始将基于所述转矩指令的指令转矩限制为小于或等于第一转矩的第一转矩限制，在所述电压检测器检测到所述直流电压超过所述预定电压时，将所述第一转矩限制解除；以及速度限制器，所述速度限制器配置成在所述转矩限制器将所述第一转矩限制解除时将基于所述速度指令的指令速度限制为小于或等于第一速度。

发明效果

根据本发明的电机控制装置，能够防止当主电路中的电源电压恢复时由于例如产生超速警报而导致电机停止。

附图说明

图1是示出根据实施方式的电机控制装置的功能构成的框图。

图2是示出根据实施方式的电机控制装置的控制器的功能构成的框图。

图3是示出在主电路中发生电源电压下降的情况下由电机控制装置执行的动作的示例的时序图。

图4是示出根据改变速度限制值从而逐渐地减小指令速度的变型例的控制器的功能构成的框图。

图5是用于说明指令速度的减速开始时刻的说明图。

图6是示出根据改变速度限制值从而逐渐地减小指令速度的变型例的电机控制装置所执行的动作的示例的时序图。

图7是示出根据控制器包括低通滤波器的变型例的控制器的功能构成的框图。

图8是示出根据控制器包括低通滤波器的变型例由电机控制装置所执行的动作的示例的时序图。

图9是示出根据对负侧转矩施加限制的变型例的控制器的功能构成的框图。

图10是示出根据对负侧转矩施加限制的变型例由电机控制装置所执行的动作的示例的时序图。

具体实施方式

以下，将参照附图对实施方式进行说明。

＜电机控制装置的构成＞

首先，将参照图1对根据本实施方式的电机控制装置1的功能构成进行说明。如图1所示，电机控制装置1包括转换器2、平流电容器3、逆变器4、电压检测器5、以及控制器6。