[发明专利]半导体装置及半导体装置的制造方法有效

专利信息
申请号: 201280070502.0 申请日: 2012-02-22
公开(公告)号: CN104137252B 公开(公告)日: 2017-07-14
发明(设计)人: 坂本健;鹿野武敏;佐佐木太志 申请(专利权)人: 三菱电机株式会社
主分类号: H01L23/29 分类号: H01L23/29;H01L23/28
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 代理人: 何立波,张天舒
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 半导体 装置 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种半导体装置,其特征在于,具有:

导电性的散热器,其具有底面;

片部件,其具有表面和背面,所述表面与所述散热器的所述底面接触,并且该片部件具有从所述底面的边缘凸出的周缘部;

半导体元件,其固定在所述散热器上,并与所述散热器电连接;以及

封装树脂体,其对所述片部件的所述表面、所述散热器、以及所述半导体元件进行封装,并且使所述片部件的所述背面的至少一部分露出,

所述片部件包含构成所述表面的绝缘片,

所述绝缘片与所述散热器的所述底面接触,

所述散热器在所述底面的角处具有角部,该角部在俯视观察时为倒角形状或者曲面形状,并且在剖面观察时为矩形形状。

2.一种半导体装置的制造方法,其特征在于,具有下述工序:

准备导电性的散热器、半导体元件以及片部件的工序,其中,所述导电性的散热器具有底面,所述半导体元件应固定在所述散热器上,所述片部件具有表面和背面,且所述表面和所述背面电绝缘;

将所述片部件、所述散热器以及在所述散热器上固定的所述半导体元件放入模塑模具的空腔内,将所述背面朝向所述模塑模具的所述空腔底面,而使所述片部件载置在所述空腔底面上,将所述散热器载置在所述片部件的所述表面,以形成从所述散热器的所述底面的边缘凸出的周缘部,通过弯曲部形成单元对所述周缘部实施使其向所述散热器侧弯折的工序;以及

在对所述周缘部实施了弯折的状态下,进行树脂封装,以对所述片部件的所述表面、所述周缘部处的所述背面、所述散热器、和所述半导体元件进行封装,并且使所述片部件的所述背面的至少一部分露出的工序。

3.根据权利要求2所述的半导体装置的制造方法,其特征在于,

所述弯曲部形成单元是在所述片部件的端部处的所述背面设置的凸起。

4.根据权利要求2所述的半导体装置的制造方法,其特征在于,

所述弯曲部形成单元是在所述模塑模具中的所述空腔底面设置、且能够向所述空腔内部凸出的销。

5.根据权利要求2所述的半导体装置的制造方法,其特征在于,

所述弯曲部形成单元是在所述模塑模具中的所述空腔底面设置的凸部。

6.一种半导体装置,其特征在于,具有:

导电性的散热器,其具有底面;

片部件,其具有表面和背面,所述表面和所述背面电绝缘,所述表面与所述散热器的所述底面接触,并且该片部件具有从所述底面的边缘凸出的周缘部;

半导体元件,其固定在所述散热器上,并与所述散热器电连接;以及

封装树脂体,其对所述片部件的所述表面、所述散热器、以及所述半导体元件进行封装,并且使所述片部件的所述背面的至少一部分露出,

在所述周缘部的所述表面设置有至少一个凸部或者凹部,

所述周缘部的所述表面具有由凹陷和凸起构成的凹凸部,该凹凸部使得所述周缘部的所述表面的表面粗糙度大于所述片部件的中央部的所述表面的表面粗糙度,

所述至少一个凸部是所述凹凸部的凸起,

所述至少一个凹部是所述凹凸部的凹陷。

7.一种半导体装置,其特征在于,具有:

导电性的散热器,其具有底面;

片部件,其具有表面和背面,所述表面和所述背面电绝缘,所述表面与所述散热器的所述底面接触,并且该片部件具有从所述底面的边缘凸出的周缘部;

半导体元件,其固定在所述散热器上,并与所述散热器电连接;以及

封装树脂体,其对所述片部件的所述表面、所述散热器、以及所述半导体元件进行封装,并且使所述片部件的所述背面的至少一部分露出,

所述片部件是将位于所述表面侧的绝缘层、和与所述绝缘层相比位于所述背面侧的金属层进行层叠而成的,

在所述周缘部处设置贯通所述表面和所述背面的至少一个通孔,

在所述金属层的所述背面侧的面上的所述通孔的边缘部,设置有向所述背面侧凸出的毛边,

所述封装树脂体覆盖所述周缘部的所述背面处的设有所述毛边的部分。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三菱电机株式会社,未经三菱电机株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201280070502.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top