[发明专利]固相原料的热处理方法、其装置以及锭块、加工物及太阳能电池的制造方法有效
申请号: | 201280070494.X | 申请日: | 2012-12-12 |
公开(公告)号: | CN104136664A | 公开(公告)日: | 2014-11-05 |
发明(设计)人: | 大石隆一 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06;H01L31/18 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 张涛 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 原料 热处理 方法 装置 以及 加工 太阳能电池 制造 | ||
1.一种固相原料的热处理方法,其通过加热设备对收纳于容器中的固相原料进行加热使其熔融后,使上述固相原料固化,从而得到其锭块,且
上述热处理方法包括,通过温度检测设备检测上述固相原料的温度,将上述固相原料即将熔融结束之前的固定的温度设为基准温度Tm℃,并基于上述基准温度Tm℃进行温度控制。
2.根据权利要求1所述的固相原料的热处理方法,其中,上述温度检测设备设置于上述容器、或与上述容器具有热传导的位置,且可检测与上述固相原料的温度具有相关关系的温度的位置。
3.根据权利要求1所述的固相原料的热处理方法,其中,上述温度控制包含,将上述温度检测设备的检测温度设为T℃、将与上述基准温度Tm℃的差(Tm-T)℃设为ΔT℃、将热处理中所需的设定温度差设为ΔTs℃时,以(ΔTs-ΔT)℃对控制用设定温度Th进行修正。
4.根据权利要求1所述的固相原料的热处理方法,其中,上述固相原料为上述锭块用的脆性材料。
5.根据权利要求4所述的固相原料的热处理方法,其中,上述脆性材料为多晶硅锭块用的硅材料。
6.一种锭块的制造方法,其使用根据权利要求1所述的固相原料的热处理方法制造锭块。
7.一种加工物的制造方法,其对按照权利要求6所述的制造方法制造的锭块进行加工,得到加工物。
8.根据权利要求7所述的加工物的制造方法,其中,上述加工物为来自硅材料的加工物。
9.一种太阳能电池的制造方法,其通过使用权利要求8所述的制造方法所制造的加工物而得到硅太阳能电池。
10.一种固相原料的热处理装置,其用于权利要求1所述的固相原料的热处理方法,且
该装置包含:收纳固相原料的容器、检测上述固相原料的温度的温度检测设备、加热设备、以及检测上述加热设备的温度的温度检测设备。
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