[发明专利]在整料衬底上形成涂层的涂覆装置和方法

权利要求书

1.一种用于在整料衬底上形成涂层的涂覆装置，所述涂覆装置包括：

液态前体源，所述液态前体源与通用入口接口流体连通；

通用出口接口，所述通用出口接口与抽吸系统流体连通；

可弹性变形套管，所述可弹性变形套管侧向围绕所述整料衬底以形成装好套管的整料衬底，且防止真空在所述真空施加到未被所述可弹性变形套管围绕的所述整料衬底的两相反端时从所述整料衬底侧漏出去；

入口衬底接收器，所述入口衬底接收器定位在所述通用入口接口和所述装好套管的整料衬底之间；以及

出口衬底接收器，所述出口衬底接收器定位在所述通用出口接口和所述装好套管的整料衬底之间，

其中：

所述装好套管的整料衬底可拆卸地插在所述入口衬底接收器和所述出口衬底接收器之间；

所述入口衬底接收器容纳所述可弹性变形套管的套管入口端；

所述出口衬底接收器容纳所述可弹性变形套管的套管出口端；以及

所述整料衬底的整料通道与所述通用入口接口和所述通用出口接口流体连通。

2.如权利要求1所述的涂覆装置，其特征在于：

所述可弹性变形套管包括：

具有套管入口套环表面的套管入口套环；以及

具有套管出口套环表面的套管出口套环；

所述套管入口套环表面形成紧靠所述入口衬底接收器的入口接收器表面的真空密封；以及

所述套管出口套环表面形成紧靠所述出口衬底接收器的出口接收器表面的真空密封。

3.如权利要求1所述的涂覆装置，其特征在于：所述可弹性变形套管是选自塑料、橡胶和聚合物的材料。

4.如权利要求3所述的涂覆装置，其特征在于：所述可弹性变形套管是选自乳胶和聚四氟乙烯的材料。

5.如权利要求1所述的涂覆装置，其特征在于：所述可弹性变形套管是充分无孔以防止在从约2英寸Hg(5.08cm Hg)至约30英寸Hg(76.2cm Hg)的真空施加到所述整料衬底的所述两相反端时真空从所述整料衬底侧漏出去的材料。

6.如权利要求1所述的涂覆装置，其特征在于：所述抽吸系统包括出口真空泵、出口空气净化器和出口增压净化器。

7.如权利要求1所述的涂覆装置，其特征在于：所述出口衬底接收器和所述入口衬底接收器由聚氯乙烯制成。

8.如权利要求1-7中任一项所述的涂覆装置，还包括：

模块化入口接口，所述模块化入口接口使所述入口衬底接收器和所述通用入口接口互连；以及

模块化出口接口，所述模块化出口接口使所述出口衬底接收器和所述通用出口接口互连。

9.如权利要求8所述的涂覆装置，其特征在于：所述模块化入口接口和所述模块化出口接口中的至少一个可从所述涂覆装置去除而不使用工具。

10.如权利要求1所述的涂覆装置，还包括：前体液位传感器，所述前体液位传感器探测液态前体什么时候完全行进穿过所述整料通道。