[发明专利]空气滑动设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种空气滑动设备，所述空气滑动设备设有以非接触的方式在轨道上运动的滑块，并且尤其涉及一种空气滑动设备的结构，所述空气滑动设备的结构具有较高的、在轨道上行进的稳定性，并且适于减小尺寸和重量。

背景技术

专利文献1公开了一种静压气体支承装置，所述静压气体支承装置可以甚至以非接触的方式稳定地支撑待支撑的重量轻的物体。该静压气体支承装置包括支撑面，所述支撑面与待以非接触的方式支撑的物体相对，并且支撑面包括：第一多孔面和第二多孔面，所述第一多孔面和第二多孔面中的每个都具有大量的细孔；和分隔壁的端面，所述分隔壁的端面将第二多孔面与第一多孔面分离。第一多孔面的小孔连接到压缩空气供给泵，用于通过开口喷射压缩空气。而且，第二多孔面的小孔连接到吸气泵，用于将空气吸入开口中。第二多孔面与第一多孔面基本齐平。

根据以上结构，在专利文献1中说明的静压气体支承装置可以甚至以非接触的方式稳定地支撑重量轻的物体，这是因为在通过压缩空气供给泵从第一多孔面喷射空气、通过吸气泵将空气吸入第二多孔面中以及物体的重量之间的平衡。

引用文献列表

专利文献

专利文献1：日本未经审查的专利申请特开No.2005-214290

发明内容

技术问题

已知这样一种空气滑动设备，即，在所述空气滑动设备中空气支承装置附装到滑动器，所述滑动器具有滑板，所述滑板用于安装待支撑的物体，并且空气支承装置的支撑面与轨道面相对，以便使滑动器以非接触的方式在轨道上运动。在专利文献1中说明的静压气体支承装置用于这种空气滑动设备的情况下，产生如下问题。

也就是说，因为在专利文献1中说明的静压气体支承装置由于将空气吸入第二多孔面中而吸引滑板，所以不能通过比大气压大的力将滑板吸引到轨道面。结果，在专利文献1中说明的静压气体支承装置具有较低的硬度。例如，当外力施加到滑板而引起负荷变动时，滑动器在轨道上的行进会变得不稳定。

另外，在专利文献1中说明的静压气体支承装置中，在具有第一多孔面的空气支承装置的顶部上形成第二多孔面，所述第一多孔面用于通过喷射压缩空气而使滑板浮在轨道面上，所述第二多孔面由于吸气而将滑板吸引到轨道面。结果，在空气支承装置附装到滑板而使得在空气支承装置和滑板之间设置有间隙从而吸收轨道的尺寸精度的影响的情况下，在滑板的自重用作用于吸收间隙的力时，用于将滑板吸引到轨道面的第二多孔面的力没有用作用于吸收间隙的力。因此，当施加比滑板的自重大的力时，滑板会对轨道面反冲。

另外，当滑动器沿着竖直方向运动时，与当滑动器沿着水平方向运动时的情况相比，用于吸收间隙的滑板的自重的力变得较小。这增大了滑板对轨道面反冲的可能性。

因而，根据在专利文献1中说明的静压气体支承装置，在滑板的自重用于消除间隙的使用环境下，滑动器可以在一定程度上在轨道上稳定地行进。然而，在滑板的自重没有用于消除间隙的使用环境下，滑动器在轨道上的行进会变得不稳定。

另外，在专利文献1中说明的静压气体支承装置除了需要用于从第一多孔面喷射压缩空气的压缩空气供给泵以外，还需要用于将空气吸入第二多孔面中的吸气泵。结果，使用该静压气体支承装置的空气滑动设备变得较大和较重。

本发明已经考虑到以上情况。本发明的目的是提供一种空气滑动设备，所述空气滑动设备具有这样的结构，即，所述结构可以使滑动器以较高的准确度和较高的稳定性行进并且适于减小尺寸和重量。

解决问题的方案

为了解决以上问题，根据本发明，使用具有磁化的滑动器导引面的相对构件，并且沿着滑动器导引面行进的滑动器设有磁力产生装置，用于产生磁力以朝向滑动器相对地吸引滑动器导引面，并且滑动器还与磁力产生装置分离地设有静压气体支承装置。

例如，本发明提供一种空气滑动设备，所述空气滑动设备包括滑动器，所述滑动器经由气体层以非接触的方式相对于相对构件运动，其中：

相对构件具有磁化的滑动器导引面，所述磁化的滑动器导引面经由气体层与滑动器相对；

滑动器包括：

磁力产生装置，所述磁力产生装置产生磁力以用于朝向滑动器相对地吸引滑动器导引面；和

静压气体支承装置，所述静压气体支承装置与磁力产生装置分离并且具有支撑面，所述支撑面经由气体层以非接触的方式面对滑动器导引面；并且