[发明专利]衬底处理装置及使用该装置的衬底处理方法

权利要求书

1.一种衬底处理装置，其特征在于，包括：

反应管，其形成为筒状，且在内部对多个衬底进行成膜处理；

气体供给管，其向所述反应管的内部导入用于所述成膜处理的处理气体；

排气管，其将所述反应管内部的环境气体排出；

加热部，其加热所述反应管；

风扇，其使所述反应管内部的环境气体沿着所述衬底的表面强制对流；和

整流板，其沿着由所述强制对流产生的所述衬底的表面上的所述处理气体的流动方向延伸，且将所述多个衬底中的配置在最外部位置的所述衬底的表面覆盖，

以使在所述多个衬底的外侧，朝向所述风扇流动的所述处理气体沿着所述反应管的内周面流动的方式进行控制。

2.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于，

由所述强制对流形成的所述处理气体的流动方向沿着所述衬底的短边方向。

3.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于，

所述整流板为圆筒形。

4.一种衬底处理装置，其特征在于，包括：

反应管，其形成为筒状，且在内部对多个衬底进行成膜处理；

气体供给管，其向所述反应管的内部导入用于所述成膜处理的处理气体；

排气管，其将所述反应管内部的环境气体排出；

加热部，其加热所述反应管；和

风扇，其使所述反应管内部的环境气体沿着所述衬底的表面强制对流，

在所述反应管的内周面形成有多个凹凸。

5.一种使用衬底处理装置的衬底处理方法，其特征在于，所述衬底处理装置具有在内部设有风扇的筒状的反应管，所述衬底处理方法包括：

(a)将多个衬底隔开间隔地配置在所述反应管内部的工序，

(b)在将所述反应管加热了的状态下向所述反应管的内部导入处理气体，并通过所述风扇使所述反应管的内部的环境气体沿着所述衬底的表面强制对流而在所述多个衬底进行成膜处理的工序，

在所述(b)工序中，利用整流板进行控制，以使在所述多个衬底的外侧，朝向所述风扇流动的所述处理气体沿着所述反应管的内周面流动，所述整流板沿着由所述强制对流产生的所述衬底的表面上的所述处理气体的流动方向延伸，且将所述多个衬底中的配置在最外部位置的所述衬底的表面覆盖。