[发明专利]金属氧化物被膜用涂布液的制造方法、金属氧化物被膜用涂布液以及金属氧化物被膜

权利要求书

1.一种金属氧化物被膜用涂布液的制造方法，其特征在于，具备以下工序：使第1金属醇盐在金属盐和有机溶剂的存在下水解得到第1工序的溶液的第1工序，在第1工序的溶液中加入与第1金属醇盐相比反应性低的第2金属醇盐并水解、缩合得到第2工序的溶液的第2工序，和在第2工序的溶液中加入析出防止剂的第3工序；

所述第1工序中的有机溶剂为下式(T1)、(T2)、或者(T3)所表示的溶剂，

式中，X₁、X₃、X₅为氢原子或者碳数1～4的烷基，X₂、X₄、X₆为碳数1～4的烷基以及苯基，P为氢原子或者碳数1～3的烷基，m、n分别独立地为1～3的整数，l、j、k、h、i分别独立地为2～3的整数；

所述第3工序中的析出防止剂为选自N-甲基-吡咯烷酮、乙二醇、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、二乙二醇、丙二醇、己二醇以及它们的衍生物的至少1种。

2.如权利要求1所述的金属氧化物被膜用涂布液的制造方法，其特征在于，第1金属醇盐为下式(I)所表示的金属醇盐；

M¹(OR¹)_n(I)

式(I)中，M¹为选自钛(Ti)、钽(Ta)、锆(Zr)、硼(B)、锡(Sn)、铟(In)、铋(Bi)以及铌(Nb)的至少1种，R¹为碳数1～5的烷基，n为M¹的价数，为2～5的整数。

3.如权利要求1或2所述的金属氧化物被膜用涂布液的制造方法，其特征在于，第1工序中的金属盐为下式(II)所表示的金属盐或者下式(II)中所使用的金属的草酸盐；

M³(X)_k(II)

式(II)中，M³为选自铝(Al)、铟(In)、锌(Zn)、锆(Zr)、铋(Bi)、镧(La)、钽(Ta)、钇(Y)和铈(Ce)的至少1种，X是氯、硝酸、硫酸、乙酸、氨基磺酸、磺酸、乙酰乙酸、乙酰丙酮化物或者它们的碱式盐，k为M³的价数。

4.如权利要求1或2所述的金属氧化物被膜用涂布液的制造方法，其特征在于，第2工序中的第2金属醇盐为下式(III)或者(IV)所表示的金属醇盐；

M²(OR¹)_n(III)

式(III)中，M²为选自硅(Si)、镁(Mg)和锌(Zn)的至少1种，R¹为碳数1～5的烷基，n为2～5的整数；

R²_lM²(OR³)_m-1(IV)

式(IV)中，M²为选自硅(Si)、镁(Mg)和锌(Zn)的至少1种，R²是氢原子或者可具有杂原子的碳数1～20的烃基，该可具有杂原子的碳数1～20的烃基可被氟原子取代，且可被卤素原子、乙烯基、环氧丙氧基、巯基、甲基丙烯酰氧基、丙烯酰氧基、异氰酸酯基、氨基或者脲基取代，R³为碳数1～5的烷基，m为2～5的整数，l在m的价数为3的情况下为1或者2，在m的价数为4的情况下为1～3中的任一数值，在m的价数为5的情况下为1～4中的任一数值。

5.一种金属氧化物被膜用涂布液，其特征在于，使用权利要求1～4中任一项所述的制造方法制造。

6.柔板印刷用的权利要求5所述的金属氧化物被膜用涂布液，其特征在于，该涂布液的粘度为8～80mPa·s。

7.一种金属氧化物被膜，其特征在于，使用权利要求5或者6所述的金属氧化物被膜用涂布液而得。

8.一种金属氧化物被膜，其特征在于，对权利要求5或者6所述的金属氧化物被膜用涂布液的涂膜以100～250℃的温度进行烧成而得。

9.一种电子器件，其特征在于，具备权利要求7或8所述的金属氧化物被膜。