[发明专利]真空热处理装置

权利要求书

1. 一种真空热处理装置，具备：

真空炉，能够减压至真空状态；

绝热容器，设于所述真空炉内，收纳被处理物，并且具有至少2个开口；

加热部，设于所述绝热容器内，加热所述被处理物；

盖部，在所述加热部加热所述被处理物的期间，至少使所述绝热容器的2个开口成为封闭的状态；

冷却装置，将冷却介质冷却并送出，并将送出的所述冷却介质回收；

诱导板，当所述绝热容器的2个开口处于开放的状态时，使由所述冷却装置送出的冷却介质穿过所述绝热容器的2个开口之中的一个开口而诱导到所述绝热容器内；以及

移动机构，使所述诱导板移动，以在所述绝热容器的2个开口处于开放的状态时，使所述诱导板的至少一部分插入所述盖部的移动空间，并且，在用于封闭所述绝热容器的2个开口的所述盖部移动之前，使所述诱导板从所述盖部的移动空间退避。

2. 根据权利要求1所述的真空热处理装置，其中，所述移动机构通过旋转所述诱导板，从而使所述诱导板插入所述移动空间，或者，使所述诱导板从所述移动空间退避。

3. 根据权利要求1所述的真空热处理装置，其中，所述诱导板具有：

第1引导部，能够插入所述盖部的移动空间，使沿着与所述绝热容器的形成有所述一个开口的面平行的方向流动的冷却介质碰撞而引导到所述绝热容器内；以及

第2引导部，将冷却介质引导到所述第1引导部。

4. 根据权利要求1到3中的任一项所述的真空热处理装置，其中，还具备整流板，该整流板比从所述冷却装置送出的所述冷却介质的流动方向上的、所述一个开口设于上游侧，遮蔽沿着与所述绝热容器的形成有所述一个开口的面平行的方向流动并直接朝向所述一个开口的冷却介质。

5. 根据权利要求4所述的真空热处理装置，其中，

所述整流板，在面临所述冷却介质的流动方向的上游侧的面的中央部具有突出部，并且，形成为所述整流板的与所述冷却介质的流动方向正交的方向的截面积随着从所述突出部朝向所述冷却介质的流动方向的下游侧而逐渐增加。