[发明专利]微镜

权利要求书

1.一种微镜，其具有第一层(200)和第二层(300)，所述第一层具有第一主延伸层面，所述第二层具有第二主延伸层面，

其中，所述第一主延伸层面与所述第二主延伸层面相互平行地设置；

其中，所述第一层(200)与所述第二层(300)通过至少一个连接区域(23)局部地相互连接；

其中，在所述第一层(200)中构造有至少一个弹簧元件(202)；

其中，在所述第二层(300)中构造有可移动地悬挂的镜板(305)；

其中，所述镜板(305)在平行于所述主延伸层面的第一侧(30)上具有镜面并且在相对置的第二侧(20)上通过所述连接区域(23)与所述弹簧元件(202)的固定部(210)连接，所述固定部构造在第一层中，且从垂直于第一和第二主延伸层面的方向看，与镜板耦合的固定部的宽度大于弹簧元件在远离固定部的位置处的宽度，以最小化镜板处的力矩；

其中，所述弹簧元件(202)的一部分能够相对于所述镜板(305)移动地设置在所述镜板(305)的第二侧(20)上。

2.根据权利要求1所述的微镜，其特征在于，所述连接区域(23)由所述第一层(200)与所述第二层(300)之间的中间层构成。

3.根据权利要求1所述的微镜，其特征在于，所述连接区域(23)由所述第一层(200)的和/或所述第二层(300)的经结构化的部分区域构成。

4.根据以上权利要求中任一项所述的微镜，其特征在于，所述固定部(210)设置在所述镜板(305)的面重心下方。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的微镜，其特征在于，所述弹簧元件(202)具有垂直于所述第一主延伸层面的第一延展和平行于所述第一主延伸层面的第二延展，其中，所述第一延展以因数2大于所述第二延展。

6.根据权利要求1-3中任一项所述的微镜，其特征在于，所述弹簧元件(202)的主要部分能够相对于所述镜板(305)移动地设置所述镜板(305)的第二侧(20)上。

7.根据权利要求1-3中任一项所述的微镜，其特征在于，所述镜板(305)能够围绕转动轴线(50)运动并且所述弹簧元件(202)具有至少一个接板(202a，b，c)，所述至少一个接板平行于所述转动轴线(50)设置。

8.根据权利要求7所述的微镜，其特征在于，所述弹簧元件(202)具有至少三个接板(202a，b，c)，所述至少三个接板平行于所述转动轴线(50)设置。

9.根据权利要求1-3、8中任一项所述的微镜，其特征在于，所述微镜具有至少两个弹簧元件(202)，它们与一个共同的固定部(210)连接。

10.根据权利要求1-3、8中任一项所述的微镜，其特征在于，所述微镜具有至少两个弹簧元件(202)，它们分别与自身的固定部(210)连接。

11.根据权利要求1-3、8中任一项所述的微镜，其特征在于，在所述第一层(200)中构造有第一框(205)并且所述弹簧元件(202)与所述第一框连接。

12.根据权利要求11所述的微镜，其特征在于，在所述第二层(300)中构造有第二框，所述第二框通过所述连接区域(23)与所述第一框(205)连接。

13.根据权利要求1所述的微镜，其特征在于，所述至少一个连接区域是直接连接到第一层和第二层的中间层。

14.根据权利要求5所述的微镜，其特征在于，所述第一延展以因数10大于所述第二延展。

15.一种2镜系统，其具有第一镜(500)并且至少具有根据以上权利要求中任一项所述的微镜(400)，其中，所述2镜系统是2D扫描仪，其中，所述第一镜具有第一转动轴线x并且所述微镜(400)具有第二转动轴线y，所述第二转动轴线垂直于所述第一镜的第一转动轴线，其中，所述微镜相对于所述第一镜(500)如此设置，使得照射两个镜(400，500)的激光射束(100)能够在两个方向上偏转。