[发明专利]形成具有稳定金属氧化物层的光电器件的方法

权利要求书

1.一种形成具有稳定金属氧化物层的光电有源器件的方法，所述方法包括提供具有背面电极和至少一个光电活性层的结构以及将金属氧化物沉积到所述至少一个光电活性层上作为生产光电有源器件的一部分，并将所述金属氧化物暴露于与所述金属氧化物反应的反应剂以形成相对疏水性表面，其中所述金属氧化物是Zn、In、Cd、Sn的氧化物、铝掺杂氧化锌或这些的组合，以及其中所述反应剂是硫化氢、硒化氢或者硫或硒的挥发性有机化合物。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述光电有源器件是光伏器件。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述光伏器件是光伏电池并且所述光电活性层是吸收体层。

4.根据权利要求3所述的方法，其中缓冲层在沉积所述金属氧化物之前形成在所述吸收体层上。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的方法，其中所述金属氧化物是氧化锌或氧化铟锡。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的方法，其中所述金属氧化物是氧化锌或铝掺杂氧化锌。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的方法，其中所述反应剂是硫化氢或硒化氢。

8.光电有源器件，其通过根据权利要求1-7任一项所述的方法制造。

9.光伏器件，其具有吸收体层和至少一个包含金属氧化物的附加层，其中所述附加层仅在表面包含所述金属氧化物与增加所述附加层对水分的抗性同时对所述附加层的光学或电性质基本无影响的化合物的反应产物，其中所述金属氧化物是Zn、In、Cd、Sn的氧化物或这些的组合，以及其中所述化合物是硫化氢、硒化氢或者硫或硒的挥发性有机化合物。

10.根据权利要求9所述的光伏器件，其中所述附加层的表面的深度小于20nm。

11.根据权利要求9所述的光伏器件，其还包括载体，和背面电极，以及缓冲区，其中所述吸收体是硫属元素化物吸收体。