[发明专利]处理装置及护罩

权利要求书

1.一种处理装置，具备基板保持部、当由上述基板保持部将基板保持时围在该基板的周围进行配置的护罩，和由磁力保持上述护罩的护罩保持部，其特征在于：

上述护罩具有多个第1磁铁和多个第2磁铁，该第1磁铁朝着上述护罩保持部配置具有第1极性的磁极，该第2磁铁朝着上述护罩保持部配置具有第2极性的磁极，上述多个第1磁铁与上述多个第2磁铁配置在相对于上述护罩的中心对称的位置，

上述护罩保持部具有多个第3磁铁和多个第4磁铁，该第3磁铁朝着上述护罩配置具有上述第1极性的磁极，以便与上述多个第2磁铁间产生吸引力；该第4磁铁朝着上述护罩配置具有上述第2极性的磁极，以便与上述多个第1磁铁间产生吸引力；上述多个第3磁铁与上述多个第4磁铁配置在相对于上述护罩保持部的中心对称的位置，

上述护罩保持部以容许上述护罩受热变形的方式对上述护罩进行保持，通过上述多个第1磁铁与上述多个第4磁铁之间作用的磁力和上述多个第2磁铁与上述多个第3磁铁之间作用的磁力将上述护罩的中心定位于上述护罩保持部的中心。

2.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于，上述护罩载置在上述护罩保持部的上面。

3.如权利要求1或2所述的处理装置，其特征在于，上述多个第1磁铁以等间隔进行配置，上述多个第2磁铁以等间隔进行配置，上述多个第3磁铁以等间隔进行配置，上述多个第4磁铁以等间隔进行配置。

4.如权利要求1～3中的任意一项所述的处理装置，其特征在于，上述多个第1磁铁配置在穿过上述护罩的中心的直线的一侧，上述多个第2磁铁配置在上述直线的另一侧，

上述多个第3磁铁分别对着上述多个第2磁铁进行配置，上述多个第4磁铁分别对着上述多个第1磁铁进行配置。

5.一种护罩，该护罩在处理装置中由护罩保持部保持，其特征在于：

为了由磁力将上述护罩固定在上述护罩保持部，上述护罩具有多个第1磁铁和多个第2磁铁，该第1磁铁对着上述护罩保持部配置有具有第1极性的磁极，该第2磁铁对着上述护罩保持部配置有具有第2磁性的磁极，

上述多个第1磁铁与上述多个第2磁铁配置在相对于上述护罩的中心对称的位置。

6.如权利要求5所述的护罩，其特征在于，上述多个第1磁铁以等间隔进行配置，上述多个第2磁铁以等间隔进行配置。

7.如权利要求5或6所述的护罩，其特征在于，上述多个第1磁铁配置在穿过上述护罩的中心的直线的一侧，上述多个第2磁铁配置在上述直线的另一侧。