[发明专利]用于平版印刷加工的旋涂碳组合物

权利要求书

1.一种形成微电子结构的方法，所述方法包括：

提供具有表面的基片；

任选的在所述基片表面上形成一种或更多种中间层，如果存在一种或更多种中间层，那么在所述基片表面上有最上的中间层；

如果存在中间层则把一种组合物施涂到所述最上的中间层，或者，如果不存在中间层则施涂至所述基片表面，所述组合物包含溶解或分散在溶剂体系中的聚酰胺酸；

加热所述组合物来形成富碳层，所述富碳层是可溶于显影剂的，且在约400℃的温度下保持约10分钟时具有小于约10％的重量损失。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述基片表面上有至少一种中间层。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括在所述富碳层上形成成像层。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括在所述富碳层上形成至少一种额外的中间层。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括在所述至少一种额外的中间层上形成成像层。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，以所述组合物中固体的重量作为100重量％为基准计，所述组合物包括大于约50重量％碳。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，以所述组合物中所有固体的总重量作为100重量％为基准计，所述组合物包括小于约10重量％氢。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，以所述层的重量作为100重量％为基准计，所述富碳层包括大于约50重量％碳。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，以所述层的总重量作为100重量％为基准计，所述富碳层包括小于约10重量％氢。

10.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述聚酰胺酸包括具有下述通式的重复单体

和

其中和各自独立地选自下组：脂肪族基团和芳基。

11.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述聚酰胺酸是二酸酐和二胺的共聚物，其中：

所述二酸酐选自下组：5-(2,5-二氧四氢呋喃)-3-甲基-3-环己烯-1,2-二羧酸酸酐、环丁烷四羧酸二酸酐、1,2,3,4-环戊烷四羧酸二酸酐、四氢呋喃-2,3,4,5-四羧酸二酸酐、4-(2,5-二氧四氢呋喃-3-基)-1,2,3,4-四氢萘-1,2-二羧酸酸酐、双环(2,2,2)辛-7-烯-2,3,5,6-四羧酸二酸酐、3,3',4,4'-二苯甲酮四羧酸二酐、均苯四酸二酐、3,3',4,4'-联苯四羧酸二酐、2,2'-双-(3,4-二羧基苯基)六氟丙烷二酐、4,4'-氧双邻苯二甲酸酐、3,3',4,4'-二苯基砜四羧酸二酐、4,4'-双酚A二酐、氢醌双邻苯二甲酸酸酐、3,4,9,10-苝-四羧酸二酐、1,4,5,8-萘四羧酸二酐和乙二醇二(偏苯三酸酐)；以及

所述二胺选自下组：1,3-二(氨基甲基)环己烷、1,4-二(氨基甲基)-环己烷、4,4'-亚甲基二(环己胺)、4,4'-亚甲基二(2-甲基环己基)胺、3-氨基苄胺、1,3-双(3-氨基苯氧基)-苯、1,3-双(4-氨基苯氧基)-苯、1,4-双(4-氨基苯氧基)苯、4,4'-双(4-氨基苯氧基)联苯、2,2-双[4-4-氨基苯氧基)-苯基]六氟丙烷、双[4-(4-氨基苯氧基)-苯基]丙烷、双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]砜、双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]砜、1,1'-双(4-氨基苯基)-环己烷、9,9'-双(4-氨基苯基)-芴、2,2'-双(4-氨基苯基)六氟丙烷、双(2-氨基苯基)硫醚、双(4-氨基苯基)硫醚、双(3-氨基苯基)砜、双(4-氨基苯基)砜、4,4'-二氨基-3,3'-二甲基二苯基甲烷、3,4'-二氨基二苯基醚、4,4'-二氨基二苯基醚、3,3'-二氨基二苯基甲烷、3,4'-二氨基二苯基甲烷、2,7-二氨基芴、1,5-二氨基萘、4,4'-二氨基八氟联苯、2,5-二甲基-1,4-苯二胺、4,4'-乙烯双苯胺、1,3-苯二胺、1,4-苯二胺、2,3,5,6-四甲基-1,4-苯二胺、间-苯二甲胺和对-苯二甲胺。

12.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述聚酰胺酸的重均分子量小于约15,000道尔顿。

13.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述组合物还包括交联剂。