[发明专利]旋转显影方法及装置

权利要求书

1.一种旋转显影方法，该方法是在晶圆尺寸为直径0.5英寸的晶圆上形成的抗蚀剂的显影方法，所述旋转显影方法包括：

第1步骤，向停止着的晶圆上以显影液滴下时液滴不会分裂的方式滴下不至于溢出的量的显影液，然后使晶圆以300rpm的旋转速度旋转并向晶圆上以显影液滴下时液滴不会分裂的方式滴下显影液直到与旋转状态的晶圆上可载置的最大液量相当且显影液的厚度达到最大、或者向以300rpm的旋转速度旋转着的晶圆上以显影液滴下时液滴不会分裂的方式滴下显影液直到与旋转状态的晶圆上可载置的最大液量相当且显影液的厚度达到最大；

第2步骤，一边使晶圆以与所述第1步骤相同的旋转速度旋转一边进行15秒的显影。

2.根据权利要求1所述的旋转显影方法，其特征在于，

在所述第1步骤中，控制显影液厚度与晶圆旋转速度，直到晶圆上的显影液达到最大接触角。

3.根据权利要求1或2所述的旋转显影方法，其特征在于，包括：

第3步骤，在以与所述第1步骤相同的旋转速度旋转着的晶圆上滴下约第1步骤的显影液量的一半的显影液；

第4步骤，一边使晶圆以与所述第1步骤相同的旋转速度旋转一边进行20秒的显影。

4.根据权利要求3所述的旋转显影方法，其特征在于，

在所述第1步骤滴下的显影液量为0.4ml，在所述第3步骤滴下的显影液量为0.2ml，显影液滴下时显影液在所述晶圆上的接触角为135～146度。

5.一种旋转显影装置，其具有：

旋转部，其使晶圆尺寸为直径0.5英寸的晶圆以预定速度旋转；

显影液供给部，其能够在晶圆上滴下规定量的显影液；

旋转控制部，其控制所述旋转部的旋转；

显影液供给控制部，其向停止着的晶圆上以显影液滴下时液滴不会分裂的方式滴下不至于溢出的量的显影液，然后使晶圆以300rpm的旋转速度旋转并向晶圆上以显影液滴下时液滴不会分裂的方式滴下显影液直到与旋转状态的晶圆上可载置的最大液量相当且显影液的厚度达到最大、或者向以300rpm的旋转速度旋转着的晶圆上以显影液滴下时液滴不会分裂的方式滴下显影液直到与旋转状态的晶圆上可载置的最大液量相当且显影液的厚度达到最大。

6.根据权利要求5所述的旋转显影装置，其特征在于，

所述显影液供给部具备显影液供给口和供给口高度控制机构，所述显影液供给口与设置于所述旋转部上的晶圆对置设置，所述供给口高度控制机构将晶圆表面与所述显影液供给部的显影液供给口之间的距离保持为能在所述显影液供给口与所述晶圆表面之间形成基于显影液的连续液珠的距离。