[发明专利]根据灰料法制造合成石英玻璃的方法

权利要求书

1.制造合成石英玻璃的方法，其包括方法步骤：

(A) 提供液体SiO₂原料(105)，其含有多于60重量%的聚烷基硅氧烷D4，

(B) 将液体SiO₂原料(105)汽化成气态SiO₂原料蒸气(107)，

(C) 将SiO₂原料蒸气(107)转化成SiO₂颗粒，

(D) 使所述SiO₂颗粒沉积在沉积面(160)上，形成SiO₂灰料体(200)，

(E) 使SiO₂灰料体玻璃化，形成合成石英玻璃，

其特征在于，

液体SiO₂原料(105)具有至少一种重量比例为mD3的聚烷基硅氧烷D3的附加组分和重量比例为mD5的聚烷基硅氧烷D5的附加组分，重量比mD3/mD5在0.01至1的范围，并

保持重量比mD3/mD5汽化所提供的液体SiO₂原料(105)，并将其至少99重量%汽化成气态SiO₂原料蒸气(107)。

2.根据权利要求1的方法，其特征在于，比率mD3/mD5在0.1至0.5的范围。

3.根据前述权利要求1或2任一项的方法，其特征在于，重量比G_液体 = 液体SiO₂原料(105)的mD3/mD5与重量比G_蒸气 = 气态SiO₂原料蒸气(107)的mD3/mD5的比率τ具有最大± 500 ppm，优选最大± 250 ppm，特别优选最大± 100 ppm的值，其中所述比率如下计算：

τ = (G_液体 – G_蒸气)/G_液体。

4.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于，附加组分D3和/或附加组分D5占液体SiO₂原料(105)的总重量的0.5重量%至30重量%，特别地，重量比例mD3 + mD5之和在1至15重量%，优选1至3重量%的范围。

5.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于，所述附加组分以下列量包含聚烷基环硅氧烷和它们各自的线性同系物：

·六甲基环三硅氧烷(D3): 重量比例mD3在0.02重量%至1重量%的范围,

·十甲基环五硅氧烷(D5): 重量比例mD5在0.5重量%至5重量%的范围。

6.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于，汽化包括步骤：

·加热SiO₂原料(105)，

·将加热的SiO₂原料(105)引入膨胀室(125)中，以使至少第一部分的SiO₂原料(105)因压降而汽化。

7.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于，所述汽化包括步骤：

·加热SiO2原料(105)，

·将加热的SiO₂原料(105)引入膨胀室(125)中，

·将SiO₂原料(105)与加热的稀释剂(152)混合，以使至少第二部分的SiO₂原料(105)因露点下降而汽化。

8.根据权利要求6或7任一项的方法，其特征在于，由于压降和/或分压降低，至少99.95重量%，优选99.9995重量%的SiO₂原料(105)转化成SiO₂原料蒸气(107)。

9.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于，所述将加热的SiO₂原料(105)引入膨胀室(125)中包括注射阶段，其中将液体形式的SiO₂原料(105)雾化成微滴，其中所述微滴具有小于5微米，优选小于2微米的平均直径。

10.根据前述权利要求的至少一项制成的合成石英玻璃用于制造光纤的用途。