[发明专利]提供用于光伏模块的单步骤氯化镉蒸气处理的方法和设备

权利要求书

1.一种制造光伏模块的方法，所述方法包括：

在基底上形成碲化镉层；

在炉中在碲化镉层上沉积氯化镉；以及

在炉中对碲化镉层进行热处理，其中，沉积氯化镉的步骤与对碲化镉层进行热处理的步骤同时发生，其中，沉积氯化镉的步骤紧随形成碲化镉层的步骤，炉是控制环境炉，

所述方法还包括：激活装载和出口锁或气帘，用于控制炉的内部氧水平以使氧排出并且使氯化镉进入。

2.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括：

在沉积氯化镉并对碲化镉层进行热处理的同时使基底传输通过炉。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，基底在带或多个辊上传输通过炉。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，碲化镉层通过布置在炉中的至少一个加热器进行热处理。

5.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括：在碲化镉层上沉积氯化镉之前，在布置在炉内侧的蒸发器中蒸发氯化镉。

6.根据权利要求5所述的方法，所述方法还包括：通过扩散器将蒸发的氯化镉输入到炉中。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，在对碲化镉层进行热处理的同时，将炉维持在350℃至600℃的温度。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，在对碲化镉层热处理的同时，将炉维持在400℃至450℃的温度。

9.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括：在碲化镉层上沉积氯化镉之前，在布置在炉外侧的蒸发器中蒸发氯化镉。

10.根据权利要求9所述的方法，所述方法还包括：通过扩散器将蒸发的氯化镉输入到炉中。

11.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括：在蒸发器中蒸发氯化镉，并且将载气供应到蒸发器，以分配蒸发的氯化镉。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，载气包括氢、氦、氮、氖、氩、氪以及它们的混合物中的至少一种。

13.根据权利要求1所述的方法，其中，镉硫化物层设置在基底上，其中，碲化镉层设置在镉硫化物层上。

14.根据权利要求13所述的方法，其中，镉硫化物层包括硫化镉锌。

15.一种处理碲化镉层的方法，所述方法包括：

在碲化镉层上沉积氯化镉；以及

对碲化镉层进行热处理，

其中，沉积氯化镉的步骤和对碲化镉层进行热处理的步骤同时发生，

所述方法还包括：在同一炉中执行沉积氯化镉的步骤和对碲化镉层进行热处理的步骤，以及

激活装载和出口锁或气帘，用于控制炉的内部氧水平以使氧排出并且使氯化镉进入，其中，炉是控制环境炉。

16.根据权利要求15所述的方法，所述方法还包括：在沉积氯化镉并对碲化镉层进行热处理的同时使基底传输通过炉。

17.根据权利要求15所述的方法，所述方法还包括：在蒸发器中以比对碲化镉层进行热处理的温度高的蒸发温度蒸发氯化镉。

18.根据权利要求17所述的方法，其中，对碲化镉层进行热处理的温度为385℃至500℃。

19.根据权利要求17所述的方法，其中，对碲化镉层进行热处理的温度为400℃至450℃。

20.根据权利要求15所述的方法，所述方法还包括：利用扩散器在碲化镉层上沉积氯化镉。

21.根据权利要求20所述的方法，所述方法还包括：利用载气来分配蒸发的氯化镉。