[发明专利]包括隔热板的基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，其实现对基板的工艺，其特征在于，

所述基板处理装置包括：

下部腔室，其上部打开，并在一侧形成有使所述基板进出的通道；

外部反应管，其用于关闭所述下部腔室中的打开的上部，并提供实现所述工艺的工艺空间；

基板支架，其在上下方向载置一个以上的所述基板，且可以转换到载置所述基板的载置位置、和实现对所述基板的所述工艺的工艺位置；

内部反应管，其设置于所述外部反应管的内部，并配置在位于所述工艺位置的所述基板支架的周围而划分对所述基板的反应区域；

加热器，其设置于所述外部反应管的外侧，并用于加热所述工艺空间；以及

隔热板，其设置于所述基板支架的下部，并在所述基板支架位于工艺位置时关闭所述内部反应管中的打开的下部。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

所述基板处理装置还包括：

一个以上的供应喷嘴，其沿着所述外部反应管的内壁配置，并具有用于喷射所述反应气体的供应口；和

一个以上的排气喷嘴，其沿着所述外部反应管的内壁配置，并具有用于吸入所述工艺空间内的未反应气体及反应副产物的排气口。

3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

所述基板支架在所述载置位置位于所述载置空间内，在所述工艺位置位于所述工艺空间内。

4.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

所述基板处理装置还包括旋转轴，所述旋转轴连接于所述基板支架，并在所述工艺期间向规定方向旋转；

所述隔热板设置在所述旋转轴上。

5.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

所述隔热板是陶瓷、石英、在金属材料上涂布陶瓷的材质、AlN、Ni、及Incnel中的任意一个。