[发明专利]使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法

说明书

技术领域

本发明涉及使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法、使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的再生方法、及固定磨料钢丝锯用切削液组合物。

背景技术

以往，作为利用磨料并采用钢丝锯对硅铸块等进行切断时所使用的切削液组合物，已知有含有聚醚化合物作为油分的物质(参照专利文献1、专利文献2)。

近年来，从环境应对、经济性的提高的观点出发，对于使用过的切削液组合物的废弃处理，尝试了使其容易化。另外，从环境性、生产性及经济性的提高的观点出发，尝试了再利用使用过的切削液组合物。例如，在下述专利文献3中公开了如下方案：通过离心分离将磨料、铸块的切削粉末等分散物与切削液组合物分离，对切削液组合物加以再利用。

另一方面，已知的是代替游离磨料钢丝锯而使用了固定磨料钢丝锯来切断硅铸块等的方法。该方法由于能够使铸块的切割后的废料(切割后的废料的英文为“reserve for slicing”)减少，因而具有能够有效使用铸块的优点。另外，由于在切削液组合物中不会混入磨料，因而该方法能够稳定地生产晶片而不易改变切削时的切削液组合物的粘度等性状，并且晶片的清洗也变得容易，因此，该方法比使用了游离磨料钢丝锯的切断方法更有利。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-286693号公报

专利文献2：日本特开平11-323376号公报

专利文献3：日本特开平01-316170号公报

发明内容

发明所要解决的问题

然而，即使是在铸块的切断中使用了固定磨料钢丝锯的情况下，铸块的切削粉末混入切削液组合物中，因而在废弃处理、再利用时，需要将所述切削粉末从切削液组合物中除去的操作。在作为通常的除去方法的离心分离法中，即使进行高速旋转，切削粉末的分离也需要非常长的时间，而且分离效率也差，因而切削液组合物的再生效率低成为课题。该课题成为硅晶片的生产性提高的阻碍。另外，即使使用专利文献2中记载的技术，切削粉末的分离性也不充分。其理由是因为切削粉末具有与切削液组合物中的水分相比而言与油分的亲和性更高的性质。另外，在废弃使用过的切削液组合物的情况下，例如为了通过燃烧处理而进行废弃，期望尽量从使用过的切削液组合物中除去切削粉末。

本发明提供使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法，该方法通过简单的操作，能够以高分离效率从由铸块的切断所产生的、包含使用过的切削液组合物和切削粉末的排油液中分离切削粉末，使用过的切削液组合物的废弃处理变得容易化。另外，本发明提供使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的再生方法，该方法通过简单的操作，能够以高分离效率从上述排油液中分离切削粉末，由此能够提高再生效率。另外，本发明提供被供给到上述处理方法及再生方法的实施中的固定磨料钢丝锯用切削液组合物。

用于解决问题的方法

本发明的使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法是在利用固定磨料钢丝锯而进行的铸块的切断中使用后的、使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法，其中，

使用前的所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物含有：

25～75重量％的选自下述通式(1)所示的聚醚化合物、及下述通式(2)所示的聚醚化合物中的至少一种聚醚化合物(成分A)、

1～9重量％的选自具有碳原子数12～22的烃基的HLB为17.0～20.0的非离子性表面活性剂、及下述通式(3)所示的阳离子性表面活性剂中的至少一种表面活性剂(成分B)、以及

水(成分C)，

所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物的浊点为30～80℃，

所述使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法包括如下所述的粉末除去工序：从在使用所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物并利用所述固定磨料钢丝锯而进行的铸块的切断中产生的、包含使用过的所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物和所述铸块的切削粉末的排油液中，至少除去所述切削粉末，

所述粉末除去工序包括：

第一工序，将所述排油液加热至所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物的所述浊点以上的温度，分离为以所述聚醚化合物作为主要成分的上层、及以水和所述切削粉末为主要成分的下层，以及

第二工序，从在所述第一工序中分离出的所述排油液中，至少除去所述下层，

R¹-O-(AO)_n-R^1、(1)