[发明专利]非破坏检查装置及非破坏检查装置用的亮度数据的补正方法有效
申请号: | 201280054942.7 | 申请日: | 2012-08-22 |
公开(公告)号: | CN103930772A | 公开(公告)日: | 2014-07-16 |
发明(设计)人: | 须山敏康 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01N23/04 | 分类号: | G01N23/04;G01T7/00;G21K5/00;G21K5/10 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 破坏 检查 装置 亮度 数据 补正 方法 | ||
技术领域
本发明涉及非破坏检查装置及非破坏检查装置用的亮度数据的补正方法。
背景技术
大众公知的是对食品及工业制品等的被检查物照射X射线等的放射线,在低能范围和高能范围的不同的范围内检测透过了被检查物的放射线,进行非破坏检查的双能式(Dual energy type)的检查装置。根据这种非破坏检査装置,可以同时取得低能范围的放射线图像和高能范围的放射线图像。
而且,通过在这些不同的能量范围内取得的放射线图像间进行规定的运算(除法或差分、加法、乘法等),在例如由带式输送机输送的被检查物的非破坏检查中,能够以高精度进行复杂地混杂在一起的成分分布的测量或不易带反差的异物的检测等。这种检查装置为了在不同的能量范围取得放射线图像,分别具备与各能量范围对应的检测器,例如采用将这些检测器纵长地配置的结构(参照专利文献1的第九图)。
专利文献1:(日本)特开平04-002907号公报
然而,在这样将检测器在两段重叠起来的结构的检查装置中,放射线源为点光源,并且放射线的照射方向的上游侧的检测器所包含的拍摄元件和下游侧的检测器所包含的拍摄元件之间存在距离,所以在用各个拍摄元件取得的图像间往往会产生偏离(参照图3(b))。因此,使用校准部件等事前取得上游侧的检测器的各像素和下游侧的检测器的各像素的对应关系,在进行非破坏检查时,可取得上游侧的检测器的各像素和下游侧的检测器的各像素对应的放射线图像。
但是,当连续进行非破坏检查时,因放射线源及非破坏检查装置的温度产生的位移或变形(热膨胀),放射线源的光源位置移动(焦点移动),有时无法取得所对应的上游侧的检测器的各像素和下游侧的检测器的各像素的对应关系。若这样没有取得各检测器的像素间的对应关系,在放射线图像间进行规定的运算时,因运算结果中产生的疑似边缘的发生等,不能取得适当的放射线运算图像,有可能降低非破坏检查的测量精度。在以一列式连续进行非破坏检查的情况下,每次检查时难以进行校准,在像素间的对应关系没有被取得的情况下,需要早期检测该情况,以像素间的对应关系被选定的方式对放射线图像进行补正。
发明内容
本发明的一个方式的非破坏检查装置是具备输送部、放射线源、第一及第二放射线检测器、第一及第二计算部、检测部、补正部的装置。输送部沿规定的方向输送被检查物。放射线源以与输送部的输送方向交叉的方式朝向输送部照射放射线。第一放射线检测器在第一能量范围检测从放射线源照射的放射线。第二放射线检测器在比第一能量范围高的第二能量范围检测从放射线源照射的放射线。
第一计算部根据由第一放射线检测器检测出的放射线的亮度数据,计算表示从放射线源照射且透过被检查物的放射线的第一能量范围的第一透过率的值。第二计算部根据由第二放射线检测器检测出的放射线的亮度数据,计算表示从放射线源照射且透过被检查物的放射线的第二能量范围的第二透过率的值。检测部基于表示由第一计算部算出的第一透过率的值和表示由第二计算部算出的第二透过率的值的比或差,检测放射线源的错位内容。补正部在由检测部检测出放射线源的错位内容的情况下,根据该错位内容对由第一及第二放射线检测器检测出的放射线的亮度数据的至少一方进行补正。
本发明的一方式的补正方法是在具备沿规定的方向输送被检查物的输送部、以与输送部的输送方向交叉的方式朝向输送部照射放射线的放射线源、在第一能量范围内检测从放射线源照射的放射线的第一放射线检测器、在比第一能量范围高的第二能量范围内检测从放射线源照射出的放射线的第二放射线检测器的非破坏检查装置中,对由第一及第二放射线检测器检测出的亮度数据的至少一方进行补正的补正方法。
该补正方法包括第一计算步骤、第二计算步骤、检测步骤、补正步骤。在第一计算步骤中,根据由第一放射线检测器检测出的放射线的亮度数据,计算表示从放射线源照射且透过被检查物的放射线的第一能量范围的第一透过率的值。在第二计算步骤中,根据由第二放射线检测器检测出的放射线的亮度数据,计算表示从放射线源照射且透过被检查物的放射线的第二能量范围的第二透过率的值。在检测步骤中,基于表示在第一计算步骤中算出的第一透过率的值和表示在第二计算步骤中算出的第二透过率的值的比或差,检测放射线源的错位内容。在补正步骤中,在检测步骤中检测出放射线源的错位内容的情况下,根据该错位内容对由第一及第二放射线检测器检测出的放射线的亮度数据的至少一方进行补正。
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