[发明专利]低多变性机器人

权利要求书

1.一种设备，包括：

框架，包括至少三个构件，所述至少三个构件包括至少两个连杆，所述至少两个连杆形成可动臂和末端效应器，其中所述末端效应器和所述连杆由可动关节所连接，其中所述末端效应器被配置成支撑其上的衬底；

第一位置传感器，在所述框架上靠近所述关节的第一个关节，其中所述第一位置传感器被配置成感应所述构件中的两个构件相对于彼此的位置；

驱动器，被连接到所述框架，其中所述驱动器被配置成移动所述可动臂；以及

腔室，其中所述框架位于所述腔室中并且所述驱动器通过所述腔室中的壁延伸。

2.根据权利要求1所述的设备，进一步包括在所述可动臂上的气密外壳，其中所述第一位置传感器至少部分地被密封在所述气密外壳中。

3.根据权利要求1所述的设备，其中所述腔室是真空腔室。

4.根据权利要求1所述的设备，进一步包括在所述驱动器的热传递系统，其中所述热传递系统被配置成将来自所述可动臂的热传递至从所述可动臂间隔开的距离。

5.根据权利要求1所述的设备，进一步包括连接到所述第一位置传感器的控制器。

6.根据权利要求5所述的设备，其中所述第一位置传感器从所述驱动器间隔开。

7.根据权利要求1所述的设备，其中所述第一位置传感器包括位置检测编码器。

8.根据权利要求1所述的设备，进一步包括在所述框架上靠近所述关节中的第二个关节的第二位置传感器，其中所述第二位置传感器被配置成感应所述构件中的两个构件相对于彼此的位置。

9.根据权利要求1所述的设备，进一步包括在所述框架上的至少部分地位于所述气密外壳中或第二气密外壳中的电动致动器。

10.根据权利要求1所述的设备，其中所述第一位置传感器是光学编码器，并且光纤构件从所述第一位置传感器穿过所述气密外壳延伸。

11.根据权利要求10所述的设备，进一步包括在所述框架上并且被连接到所述光学编码器的控制器，其中所述控制器至少部分地位于所述气密外壳中或第二密封外壳中。

12.根据权利要求1所述的设备，其中所述气密外壳至少部分地由所述框架的所述连杆中的一个连杆形成。

13.根据权利要求1所述的设备，进一步包括至少一个穿过所述气密外壳延伸的电导体。

14.根据权利要求4所述的设备，其中所述热传递系统包括连接到所述驱动器的第一构件的第一热传递构件以及第二热传递构件，其中所述第二热传递构件相对于所述第一热传递构件被放置以接收来自所述第一热传递构件的热，并且其中随着所述驱动器的所述第一构件被移动所述第一热传递构件可相对于所述第二热传递构件移动。

15.根据权利要求4所述的设备，其中所述热传递系统包括：

第一对热传递构件；以及

间隔开的第二对热传递构件，

其中所述第一对热传递构件包括连接到所述驱动器的第一构件的第一热传递构件以及第二热传递构件，其中所述第二热传递构件相对于所述第一热传递构件被放置以接收来自所述第一热传递构件的热，并且其中随着所述驱动器的所述第一构件被移动所述第一热传递构件可相对于所述第二热传递构件移动，

其中所述第二对热传递构件包括连接到所述驱动器的第二构件的第三热传递构件以及第四热传递构件，其中所述第四热传递构件相对于所述第三热传递构件被放置以接收来自所述第三热传递构件的热，并且其中随着所述驱动器的所述第二构件被移动所述第三热传递构件可相对于所述第四热传递构件移动。

16.根据权利要求15所述的设备，其中所述热传递系统进一步包括第三对热传递构件，所述第三对热传递构件包括连接到所述驱动器的第三构件的第五热传递构件以及第六热传递构件，其中所述第六热传递构件相对于所述第五热传递构件被放置以接收来自所述第五热传递构件的热，并且其中随着所述驱动器的所述第三构件被移动所述第五热传递构件可相对于所述第六热传递构件移动。

17.根据权利要求15所述的设备，其中所述第二热传递构件和所述第四热传递构件被支撑在所述驱动器的所述第三构件上。