[发明专利]样品块支座

权利要求书

1.一种用于具有带有样品台的样品室的带电粒子束系统的样品支座系统，包括：

   用于附装到带电粒子束系统的样品台上的样品台底座，该样品台底座包括三个对准结构；

   基板，包括三个对准结构，该基板上的每个对准结构被构造成用于与该样品台底座上的相应对准结构配合，该基板上的或样品台底座上的每一个配合对准结构包括半球形部分；

   样品托盘，被配置成可移除地可附接到该基板上，该样品托盘具有用于对多个样品块进行定位的多个孔；

   夹子，将该样品托盘夹持到该基板上；以及

   校准用基准支座，被固定到该样品台底座上并且当在该带电粒子束系统内变换样品时其继续保持在该样品台底座上。

2.如权利要求1所述的样品支座系统，其中，这些与这三个半球形部分配合的对准结构包括多个圆锥形压痕。

3.如权利要求1或权利要求2所述的样品支座系统，其中，这些与该样品台底座上的三个对准结构配合的对准结构包括多个半球形部分，并且其中，该基板上的三个对准结构包括多个圆锥形或半球形压痕。

4.如以上权利要求中任一项所述的样品支座系统，其中，该带有多个样品块的组合式样品托盘和基板支座在带电粒子束操作过程中通过该样品支座的重量而被保持在该样品台上，而没有附加约束。

5.如以上权利要求中任一项所述的样品支座系统，其中，使用多个紧固件将该样品台底座上的这三个配合结构附接到该样品台底座上。

6.如以上权利要求中任一项所述的样品支座系统，进一步包括被定位在该基板上的多个弹簧以将这些样品块压到该样品托盘内并且可重复地相对于该样品托盘对这些样品块进行定向。

7.如以上权利要求中任一项所述的样品支座系统，进一步包括被定位在该样品台底座上的多个弹簧以保证该样品台底座与该基板之间的电接触，这些弹簧提供足够的偏置力来提供电接触同时仍然允许该样品托盘、基板以及样品块的重量引起这些对准结构完全啮合。

8.一种用于使用用于矿物学样品的扫描电子显微镜的样品支座系统的方法，包括：

   将多个样品块放置到样品托盘内，该样品托盘具有用于对这些样品块进行定位的多个孔；

   将基板放置在这些样品块后面以使这些样品块保持在该样品托盘内，该基板包括三个对准结构；

   在无需工具的情况下将该基板固定到该样品托盘上；

   将该装配的样品托盘、基板、以及样品块放置到该扫描电子显微镜的样品台底座上，该样品台底座包括用于与该基板上的对准结构配合的多个对准结构，该基板上的与该样品台底座上的对准结构配合的对准结构配合成用于在该带电粒子束系统的样品台上对这些样品块进行定位和定向；以及

   操作该带电粒子束系统以对这些样品块内的样品进行分析，该装配的样品托盘、基板、以及样品块停留在该样品台底座上而没有固定到该样品台底座上。

9.如权利要求8所述的方法，进一步包括对附接到该样品台底座上的校准用基准进行测量，当移除该样品托盘、基板、以及样品块时，该校准用基准继续保持附接在该样品台底座上。

10.如权利要求8或权利要求9所述的方法，其中，将该装配的样品托盘、基板、以及样品块放置到该扫描电子显微镜中的样品台底座上包括将具有多个圆锥形或半球形压痕的基板放置到具有多个半球形配合结构的样品台底座上。

11.如权利要求8至10所述的方法，其中，将基板放置在这些样品块后面以将这些样品块保持在该样品托盘内包括提供弹簧以将这些样品块中的至少一个样品块压到这些样品托盘孔处的位置内。

12.如权利要求8至11所述的方法，其中，操作该带电粒子束系统包括将该电子束引导向包括该样品块、样品托盘、以及基板的总成内的样品块，该样品台底座以该总成的重量支撑着该总成，而没有附加约束。

13.如权利要求8至12所述的方法，其中，将该装配的样品托盘、基板、以及样品块放置到样品台底座上包括提供至少一个弹簧以在该样品台底座与该基板之间提供电接触。