[发明专利]电子显微法的观察样品、电子显微法、电子显微镜以及观察样品制作装置

权利要求书

1.一种电子显微法的观察样品，包括：

试料；和

处于上述试料上的薄膜状或者网膜状的包含离子液体的液状介质。

2.根据权利要求1所述的电子显微法的观察样品，其特征在于，

将上述离子液体的1分子层的厚度设为1单层，

涂敷有包含上述离子液体的液状介质的部分的膜厚是1单层以上、100单层以下。

3.一种电子显微法，其特征在于，包括以下工序：

测量试料上的薄膜状或者网膜状的包含离子液体的液状介质的膜厚；

基于包含上述离子液体的液状介质的膜厚来控制一次电子的照射条件；和

按照上述一次电子的照射条件照射一次电子并对上述试料的形态进行图像化。

4.根据权利要求3所述的电子显微法，其特征在于，

还包括以下工序：

将包含离子液体的液状介质涂敷至试料的观察面；和

将包含上述离子液体的液状介质在上述试料上薄膜化。

5.根据权利要求4所述的电子显微法，其特征在于，

对以下工序处理多次：

将包含上述离子液体的液状介质涂敷至上述试料的观察面；

将包含上述离子液体的液状介质在上述试料上薄膜化；和

对包含上述离子液体的液状介质的膜厚进行测量。

6.根据权利要求3所述的电子显微法，其特征在于，

对包含上述离子液体的液状介质的膜厚进行测量的工序包括以下工序：

向上述试料的观察面照射脉冲电子；

检测通过上述脉冲电子放射的二次电子信号；和

根据上述二次电子信号来解析二次电子放射率的一次电子加速电压依赖性。

7.根据权利要求3所述的电子显微法，其特征在于，

对包含上述离子液体的液状介质的膜厚进行测量的工序包括以下工序：

对在向上述试料的观察面照射一次电子时感应的基板电流进行测量；和

解析所测量到的基板电流的一次电子加速电压依赖性。

8.一种电子显微镜，其特征在于，具有：

电子源，其放射一次电子；

试料座，其保持试料；

排气室，其设置上述试料座并进行排气；

透镜系统，其将上述一次电子汇聚于上述试料；

偏转器，其对上述一次电子进行扫描；

检测器，其对通过上述一次电子而从上述试料放射出的二次电子进行检测；

图像生成部，其通过上述二次电子形成图像；

试料室，其设置上述试料座；

测量机构，其对上述试料上的薄膜状或者网膜状的包含离子液体的液状介质的膜厚进行测量；和

基于上述试料上的包含离子液体的液状介质的膜厚的上述一次电子的照射条件控制部。

9.根据权利要求8所述的电子显微镜，其特征在于，

对包含上述离子液体的液状介质的膜厚进行测量的测量机构具有：

脉冲形成部，其形成对上述一次电子进行脉冲化所得到的脉冲电子；

二次电子信号解析部，其根据通过上述脉冲电子而从上述试料放射的二次电子信号来解析二次电子放射率；和

二次电子放射率解析部，其解析上述二次电子放射率的一次电子加速电压依赖性。

10.根据权利要求8所述的电子显微镜，其特征在于，

对包含上述离子液体的液状介质的膜厚进行测量的测量机构具有：

基板电流测量部，其测量对上述试料照射上述一次电子时所感应的基板电流；和

基板电流解析部，其解析上述基板电流的一次电子加速电压依赖性。

11.根据权利要求8所述的电子显微镜，其特征在于，

在保持上述试料的上述试料座或者上述试料室中具有对上述试料的观察面涂敷包含上述离子液体的液状介质的涂敷部。

12.根据权利要求11所述的电子显微镜，其特征在于，

在保持上述试料的上述试料座或者上述试料室中具有对涂敷在上述试料上的包含上述离子液体的液状介质进行薄膜化的机构。