[发明专利]表面聚合物涂层

权利要求书

1.一种等离子体室，用于给基板涂以聚合物层，所述等离子体室包括第一电极组和第二电极组，所述第一电极组和第二电极组被布置在用于容纳基板的样品室的两侧，其中所述第一电极组和第二电极组包括多个电极层，并且其中每个电极组包括用于将聚合物涂覆于基板的每个表面的多个射频电极层或多个接地电极层。

2.根据权利要求1所述的等离子体室，其中所述第一电极组和第二电极组之一或两者包括内电极层和一对外电极层。

3.根据权利要求2所述的等离子体室，其中所述内电极层是射频电极，而所述外电极层是接地电极。

4.根据权利要求2所述的等离子体室，其中所述内电极层是接地电极，而所述外电极层是射频电极。

5.根据权利要求2至4中的任一项所述的等离子体室，其中，当所述内电极层和/或外电极层为所述射频类型时，其中所述电极层或每个电极层包括热量调节器。

6.根据任何前述权利要求所述的等离子体室，还包括温度控制装置，例如，门，并且所述真空室的某些或每个壁可以设置有温度控制装置。

7.根据任何前述权利要求所述的等离子体室，包括用于将单体引入其内的一个或多个入口。

8.根据权利要求7所述的等离子体室，其中所述入口或每个入口将单体馈入用于将所述单体均匀地分布于整个所述室内的单体分布系统中。

9.根据任何前述权利要求所述的等离子体室，包括单体蒸气供应系统。

10.根据任何前述权利要求所述的等离子体室，其中所述样品室能够容纳待涂覆的如PCB的基板，或者还包括用于容纳待涂覆的如PCB的基板的有孔容器或托盘。

11.根据权利要求10所述的等离子体室，其中所述待涂覆的基板位于所述容器或托盘之上或之内，使得在使用时，聚合物涂层被施加于所述基板的每个表面。

12.根据任何前述权利要求所述的等离子体室，其中所述等离子体室还包括例如第三、第四、第五或第六电极组。

13.根据权利要求12所述的等离子体室，其中所述电极组被连续地从所述等离子体室的一端布置到所述等离子体室的相对端。

14.根据权利要求13所述的等离子体室，其中与所述等离子体室的每个端部最接近的所述电极组包括至少三个电极层。

15.一种包括根据任何前述权利要求的等离子体室的系统。

16.根据权利要求15所述的系统，还包括与泵系统连接的一个或多个气体出口。

17.根据权利要求16所述的系统，其中所述气体出口或每个气体出口被布置以使单体均匀地分布于整个所述室内。

18.根据权利要求17所述的系统，其中所述单体包括化学通式：C_nF_2n+1C_mX_2mCR₁Y-OCO-C(R₂)=CH₂，其中n为2至9，优选地为2至6；m为0至9；X和Y是H、F、Cl、Br或I；而R₁是-H或烷基，例如，-CH₃，或者取代烷基，例如，至少部分卤代的烷基；R₂是H或烷基，例如，CH₃，或者取代烷基，例如，至少部分卤代的烷基。

19.根据权利要求18所述的系统，其中R₁是H，R₂是CH₃，而Y是H。

20.一种等离子体室的电极系统，所述等离子体室用于给基板涂以聚合物层，所述电极系统包括第一电极组和第二电极组，所述第一电极组和第二电极组各自包括电极层，其中每个电极组包括用于将聚合物涂覆于基板的每个表面的多个射频电极层或多个接地电极层。